一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器及其制作方法。这种偏振稳定的垂直腔面发射激光器(1)，包括出射面(10)及开设在出射面(10)上的出射孔(11)，还包括在出射孔(11)处设有非晶硅光栅(3)。其中非晶硅光栅(3)是一种亚波长光栅。在非晶硅光栅(3)与出射孔(11)表面之间还包括有基底层(2)，基底层可为沉积生长的二氧化硅层。添加这种亚波长的非晶硅光栅(3)后可稳定偏振光的输出，实现较高偏振比的光输出，同时出射光偏振分量的强度也可以随着注入电流的增加而单调增加。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光器，尤其是一种偏振稳定的垂直腔面的发射激光器及其制作方法。
技术介绍
垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavitysurface-Emitting Laser，简称 VCSEL) 由于其高性价比，高集成度等优点，在光计算、高速光互连、宽带以太网等领域有着广泛的应用。但是这种激光器有一个比较大的问题就是由于在腔轴垂直的平面上结构具有圆对称性，所以不同偏振的光在出射时会产生竞争，导致它出射光的偏振并不稳定，具体体现在1、出射光的偏振方向随着注入电流的增加会有一些变化，从而其偏振分量的光强随着注入电流的增加在某些电流区域会有下降(如图7)；2、在相同注入电流的作用下出射光的偏振方向也会有一些抖动，也就是偏振噪声，它的频率一般在百兆赫兹的量级。这样就导致在注入电流增加时，出射光的偏振分量光强并不是单调增加的；而且在相同的注入电流作用下，出射光的偏振分量的强度也不稳定。这就大大影响到了它在光计算、高速光互连以及原子钟等方面的应用。要解决这个问题，就要打破这种对称性，比如在生长材料时以一定的倾斜角度生长，或者对其谐振腔的端面提供一个非对称因素，使其在某个偏振方向上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器，包括出射面（１０）及开设在出射面（１０）上的出射孔（１１），其特征在于：还包括在出射孔（１１）处设有非晶硅光栅（３）。

【技术特征摘要】
1.一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器，包括出射面(10)及开设在出射面(10)上的出射孔(11)，其特征在于还包括在出射孔(U)处设有非晶硅光栅(3)。2.根据权利要求1所述的偏振稳定的垂直腔面发射激光器，其特征在于所述的非晶硅光栅( 是一种亚波长光栅。3.根据权利要求2所述的偏振稳定的垂直腔面发射激光器，其特征在于所述的非晶硅光栅(3)与出射孔(11)表面之间还沉积一层基底层O)。4.根据权利要求3所述的偏振稳定的垂直腔面发射激光器，其特征在于所述的基底层( 是二氧化硅层。5.一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器的制作方法，其特征在于包括以下步骤 (1)、在垂直腔面发射激光器的出射孔(11)表面沉积基底层O)；O)...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔国新，黄寓洋，殷志珍，张宇翔，冯成义，张耀辉，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：32