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本发明涉及一种偏振稳定的垂直腔面发射激光器及其制作方法。这种偏振稳定的垂直腔面发射激光器(1)，包括出射面(10)及开设在出射面(10)上的出射孔(11)，还包括在出射孔(11)处设有非晶硅光栅(3)。其中非晶硅光栅(3)是一种亚波长光栅。...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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