图像数据生成装置及其方法、图像形成装置及其方法制造方法及图纸

提供一种图像数据生成装置及其方法、图像形成装置及其方法。图像形成装置(1)的数据修正部(72)，从原始图案数据的图像中的图形要素组划定一块图形要素组(步骤S102)，识别所划定出的所述一块图形要素组的外廓线(步骤S105)，对所述一块图形要素组中的位于距所识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线是长边与其对置还是短边与其对置的关系(步骤S106)，根据判定结果来计算修正量(步骤S111)，并对该图形要素的数据进行修正(步骤S112)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在对象物上形成显影剂图像(toner image)的技术。
技术介绍
以前，作为在印刷电路板、半导体衬底等对象物上形成布线图案的方法之一，以下方法为人们所知通过在铜箔上形成与布线图案相对应的抗蚀剂膜的图案(即，抗蚀剂图案resist pattern)，并隔着抗蚀剂图案在铜箔上涂敷蚀刻液，以此除去从铜箔的抗蚀剂膜露出的部位，从而形成由铜形成的布线图案。在上述的布线图案的形成中，作为形成抗蚀剂图案的方法，例如利用光刻法 (photolithography)，在该光刻法中，通过隔着掩模对对象物上的具有感光性的抗蚀剂膜照射光，以此在抗蚀剂膜上形成抗蚀剂图案的图像，并通过使该抗蚀剂膜显影来形成与布线图案相对应的抗蚀剂图案，其中，上述掩膜具有与布线图案相对应的透光部或遮光部。在日本特开2002-122977号公报中公开了以下技术在光刻法工序中，通过使与抗蚀剂图案的孤立线(即，周围无其他线的孤立的线)相对应的掩模图案的线宽比设计线宽细，以此防止孤立线因光学邻近效应而变粗。另一方面，作为形成图像的方法，以下方法也为人们所知利用静电复印法在具有感光性的对象物上照射光来形成静电潜像，并在该静电潜像上提供显影剂(toner)(即，进行显影)，以此来形成显影剂图像。在日本专利第3668373号公报中公开了以下技术为了抑制显影时的静电潜像的边缘效应(即，通过使静电潜像的边缘部附近的电场比与静电潜像边缘相分开的其他区域的电场强，使得在边缘部附近比其他区域多附着显影剂从而浓度变高的现象)，在形成静电潜像时，在从一个图形要素中的关注像素到该图形要素的边缘为止的距离中的最短距离较短的情况下，使对关注像素照射的光的强度变小，从而抑制显影时的显影剂的过剩附着。但是，在对于利用静电复印法形成于感光鼓上的静电潜像，利用显影工序使显影剂附着在该静电潜像上从而形成显影剂图像的情况下，以下情况为人们所知在线状图形要素中因边缘效应而过剩附着显影剂，由此显影剂图像的线宽变得比静电潜像的线宽粗。 另外，在将该显影剂图像转印在对象物上时，往往过剩附着的显影剂会在对象物上蔓延。由于这些原因，往往转印在对象物上的显影剂图像的线状图形要素的宽度将大于设计线宽。 也存在局部产生此种线状图形要素的宽度增大的情况，如日本专利第3668373号公报那样，即使基于最短距离调整了照射在关注像素上的光的强度，也难于使线状图形要素的宽度均勻且等于设计线宽，其中，上述最短距离是指，从线状图形要素中的关注像素到该线状图形要素的边缘为止的距离中的最短距离。
技术实现思路
本专利技术涉及用于生成图像数据的图像数据生成装置，其目的在于修正边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大，从而使显影剂图像的线状图形要素的宽度与所期望的宽度相同。本专利技术涉及的图像数据生成装置，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据。图像数据生成装置具有外廓识别单元，其识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线；判定单元，其对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。由此，当在对象物上形成显影剂图像时，能够对边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大进行修正，从而能够将显影剂图像的线状图形要素的宽度做成所期望的宽度。本专利技术涉及的另一种图像数据生成装置具有划定单元，其在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组；外廓识别单元，其识别划定单元划定出的所述一块图形要素组的外廓线；判定单元，其对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。由此，能够对边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大进行修正，从而能够将显影剂图像的线状图形要素的宽度做成所期望的宽度。本专利技术还涉及一种图像数据生成方法，用来生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据。图像数据生成方法包括识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线的工序；对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系的工序；根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序。本专利技术涉及的另一种图像数据生成方法，包括在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组的工序；识别所划定的所述一块图形要素组的外廓线的工序；对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系的工序；根据判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序。本专利技术还涉及具有图像数据生成装置的图像形成装置。图像形成装置还具有潜像形成部，其基于所述图像数据生成装置所生成的修正完毕数据，在感光体上形成静电潜像；显影部，其通过对所述静电潜像提供显影剂来使所述静电潜像显影，从而形成转印前的显影剂图像；显影剂图像转印部，其将所述显影剂图像转印在对象物上。本专利技术还涉及用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像形成方法。 图像形成方法包括识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线的工序；对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系的工序；根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序；根据修正完毕数据来在感光体上形成静电潜像的工序；通过对所述静电潜像提供显影剂来使所述静电潜像显影，从而形成转印前的显影剂图像的工序；将所述显影剂图像转印在对象物上的工序。本专利技术涉及的另一种图像形成方法包括在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组的工序；识别所划定的所述一块图形要素组的外廓线的工序； 对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系的工序；根据判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序；基于修正完毕数据来在感光体上形成静电潜像的工序；通过对所述静电潜像提供显影剂来使所述静电潜像显影，从而形成转印前的显影剂图像的工序；将所述显影剂图像转印在对象物上的工序。 上述的目的及其他的目的、特征、方式及优点，通过以下参照附图进行的对本专利技术的详细说明得以明确。附图说明图1是说明本专利技术的一个实施方式的图案形成系统100的结构的图。图2是表示图1所示的图案形成系统100的图像记录装置装置1的图。图3是表示图1所示的图案形成系统100的动作的流程图。图4是表示感光体表面的电位分布的图。图5是表示感光体表面的电位分布的图。图6是表示感光体表面的电位分布的图。图7A是表示静电潜像与显影剂图像之间的关系的图。图7B是表示静电潜像与显影剂图像之间的关系的图。图7C是表示静电潜像与显影剂图像之间的关系的图。图8是表示图形图案组的一个例子的图。图9A是表示每个区域的显影剂图像的变粗方式的图。图9B是表示每个区域的显影剂图像的变粗方式的图。图9C是表示每个区域的显影剂图像的变粗方式的图。图IOA是表示图形图案数据的修正的图。图IOB是表示图形图案数据的修正的图。图IlA是表示图形图案数据的修正的图。图IlB是表示图形图案数据的修正的图。图12是表示计算修正量和生成修正完毕图案数据的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种图像数据生成装置，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据，其特征在于，具有：外廓识别单元，其识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线；判定单元，其对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。

【技术特征摘要】
2010.02.25 JP 2010-0407781.一种图像数据生成装置，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据，其特征在于，具有外廓识别单元，其识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线； 判定单元，其对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。2.根据权利要求1记载的图像数据生成装置，其特征在于，所述修正单元对位于距所述外廓线规定距离内的位置的图形要素的数据进行变细修正，使得在所述对象物上形成了该图形要素的显影剂图像的情况下，与边缘效应相抵消从而使该显影剂图像形成为原始图案数据的该图形要素的形状。3.一种图像数据生成装置，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据，其特征在于，具有划定单元，其在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组； 外廓识别单元，其识别划定单元划定出的所述一块图形要素组的外廓线； 判定单元，其对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。4.根据权利要求3记载的图像数据生成装置，其特征在于，所述修正单元对位于距所述外廓线规定距离内的位置的图形要素的数据进行变细修正，使得在所述对象物上形成了该图形要素的显影剂图像的情况下，与边缘效应相抵消从而使该显影剂图像形成为原始图案数据的该图形要素的形状。5.根据权利要求1至4中任一项记载的图像数据生成装置，其特征在于，所述判定单元判定所述图形要素的短边与所述外廓线对置，还是长边与所述外廓线对置，还是长边和短边都与所述外廓线对置。6.一种图像数据生成方法，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据，其特征在于，包括识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线的工序；对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系的工序；根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序。7.一种图像数据生成方法，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据，其特征在于，包括在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组的工序； 识别所划定的所述一块图形要素组的外廓线的工序；对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系的工序；根据判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序。8.一种图像形成装置，用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像，其特征在于， 具有图像数据生成装置，其生成用于形成所述显影剂图像的图像数据， 潜像形成部，其基于所述图像数据生成装置所生...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田泰史，青池正明，盛孝之，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP