银蓝玻璃及制造该银蓝玻璃的工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种具有7层结构的低辐射银蓝镀膜玻璃以及制造该银蓝玻璃的工艺。该银蓝玻璃在玻璃基片上从底层向上依次镀有1、第一TiO2膜层，2、SnO2膜层，3、Co-Ni-Cr-Al-Y膜层，4、第二TiO2膜层，5、ZnO2膜层，6、SnO2膜层，7、SiN4膜层，从而构成7层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。具有成本低，耐磨、耐腐蚀性能好的优点，尤其是具有低辐射性能的特点。此外，它还能解决LOW-E玻璃在颜色上的缺陷，将Co-Ni-Cr-Al-Y层和其它三层结合使用，让银蓝玻璃呈现出明亮艳丽的蓝色，且蓝中透着炫丽的金属银白色，实现色彩与性能的良好统一。Co-Ni-Cr-Al-Y膜，这是最为重要的膜层，它不但具有比Cr更加优异的耐高温抗氧化性能，还具有结合强度大，耐腐蚀和气蚀，涂层致密，能耐1038摄氏度高温，抗氧化性能优良。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种玻璃以及该玻璃的制造工艺，特别涉及一种银蓝玻璃以及该银蓝玻璃的制造工艺。现有技术目前市场上常见的银蓝玻璃的膜系结构一般是这样的其具有玻璃基片，在玻璃基片上从底层向上依次镀有1、SnO2或^1 膜层2、CrMnN膜层3、NiCr膜层4、ZnO2膜层， 从而构成4层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。虽然SnA或^1 沉积效率高、价格便宜，但其保护作用差，耐磨耐腐蚀性能不好， 且不具有环保节能的功能层。而且由于没有使用SiN4膜层，因而其膜层结构不够紧密，与玻璃基片的结合力不够强，耐磨耐腐蚀性能也欠佳。此外，它使用的是价格便宜，材质和性能都很普通的CrMnN靶材，不但银蓝颜色纯度不够，而其颜色相对暗淡，不太能满足人们的审美要求。最为重要的一点是，它没有使用Co-Ni-Cr-Al-Y层，所以这种玻璃无法达到耐高温抗氧化及低辐射的效果。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供本专利技术目的在于提供一种具有7层结构的低辐射银蓝镀膜玻璃，使其具有成本低，耐磨、耐腐蚀性能好的优点，尤其是具有耐高温抗氧化及低辐射性能的特点。本专利技术的目的可采用如下技术方案来实现在玻璃基片上从底层向上依次镀有 1、第一 TiO2 膜层，2、第一 SnO2 膜层，3、Co-Ni-Cr-Al-Y 膜层，4、第二 TiO2 膜层，5、&ι02 膜层， 6、第二 SnA膜层，7、Si3N4膜层，从而构成7层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。在制造上述玻璃时，可以采取以下工艺。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1. 1 X 10_4pa以下，充入工艺气体( 或N2或Ar)，使镀膜室压力稳定在0. 3pa左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃，将靶材原子或其它化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入02，靶材为Ti靶，将第一 TiA膜沉积到玻璃表面，厚度8至20 纳米；第二个镀膜室充入02，靶材为Sn靶，在第一 TW2膜上面沉积形成第一 SnA膜，厚度20至60纳米；第三个镀膜室充入Ar，靶材为Co-Ni-Cr-Al-Y靶，在第一 SnO2上面沉积 Co-Ni-Cr-Al-Y层，厚度8至20纳米；第四个镀膜室充入02，靶材为Ti靶，在Co-Ni-Cr-Al-Y层上沉积第二 TiO2膜，厚度10至15纳米；第五个镀膜室充入02，靶材为Si靶，在第二 TiA膜层上沉积^1 膜，厚度3至10 纳米；第六个镀膜室充入02，靶材为Sn靶，在^1 膜上沉积形成第二 SnO2膜，厚度20至60纳米；第七个镀膜室充入队，靶材为Si靶，在第二 SnA膜上沉积Si3N4膜，厚度15至30 纳米。采用上述结构，即可以利用31102膜沉积率高，价格便宜的优点，又可以利用5丨队膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点，特别是其中加入的一层Co-Ni-Cr-Al-Y膜层与其它三层相结合使用，使其具有低辐射节能环保的性能。而且这种玻璃还具有鲜明艳丽的色彩， 达到了内在美与外在美的和谐与统一，满足使用者的个性化需求。附图说明图1为本专利技术所述银蓝玻璃的结构示意图。其中1、玻璃基片，2、第一 TiO2膜层， 3、第一 SnO2 膜层，4、Co-Ni-Cr-Al-Y 膜层，5、第二 TiO2 膜层，6、Zn02 膜层，7、第二 SnO2 膜层， 8、Si3N4 膜层。具体实施例方式结合附图对本专利技术所述的银蓝玻璃进行进一步说明。本专利技术的目的可采用如下技术方案来实现在玻璃基片1上从底层向上依次镀有第一 TiA膜层2，第^1 膜层3， Co-Ni-Cr-Al-Y膜层4，第二 TiO2膜层5, ZnO2膜层6，第二 SnO2膜层7和Si3N4膜层8，从而构成7层膜系结构的银蓝低辐射镀膜玻璃。在制造上述玻璃时，可以采取以下工艺。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1. 1 X 10_4pa以下，充入工艺气体( 或N2或Ar)，使镀膜室压力稳定在0. 3pa左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃，将靶材原子或其它化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入02，靶材为Ti靶，将第一 TW2膜沉积到玻璃表面，厚度15纳米左右；第二个镀膜室充入02，靶材为Sn靶，在第一 TW2膜上面沉积形成第一 SnA膜，厚度40纳米左右；第三个镀膜室充入Ar，靶材为Co-Ni-Cr-Al-Y靶，在第一 Sr^2膜层上面沉积Co-Ni-Cr-Al-Y层， 厚度15纳米左右；第四个镀膜室充入02，靶材为Ti靶，在Co-Ni-Cr-Al-Y层上沉积第二 TW2 膜，厚度12纳米左右；第五个镀膜室充入02，靶材为Si靶，在第二 TW2膜层上沉积^1 膜， 厚度6纳米左右；第六个镀膜室充入02，靶材为Sn靶，在^1 膜上沉积形成第二 SnA膜，厚度40纳米左右；第七个镀膜室充入队，靶材为Si靶，在第二 SnA膜上沉积层Si3N4膜，厚度 22纳米左右。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种银蓝玻璃，其特征在于在玻璃基片上从底层向上依次镀有第一ＴｉＯ２膜层，第一ＳｎＯ２膜层，Ｃｏ－Ｎｉ－Ｃｒ－Ａｌ－Ｙ膜层，第二ＴｉＯ２膜层，ＺｎＯ２膜层，第二ＳｎＯ２膜层，Ｓｉ３Ｎ４膜层。

【技术特征摘要】
1.一种银蓝玻璃，其特征在于在玻璃基片上从底层向上依次镀有第一TiO2膜层，第一 SnO2膜层，Co-Ni-Cr-Al-Y膜层，第二 TW2膜层，ZnO2膜层，第二 Sr^2膜层，Si3N4膜层。2.权利要求1中所述的银蓝玻璃，其中所述第一TW2膜层厚度为8至20纳米，所述第一 SnO2膜层厚度为20至60纳米，所述Co-Ni-Cr-Al-Y膜层厚度为8至20纳米，所述第二 TiO2膜层厚度为10至15纳米，所述^1 膜层厚度为3至10纳米，所述第二 SnO2膜层厚度为20至60纳米，所述Si3N4膜层厚度为15至30纳米。3.—种制造银蓝玻璃的方法，其特征在于将镀膜室抽真空至1. IXlO-V以下，充入工艺气体，使镀膜室压力稳定在0. 3pa左右， 将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃基片，将靶材原子或其它化...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进东，
申请(专利权)人：南京宇天玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：84