基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置制造方法及图纸

一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特点在于其构成包括激光器，沿该激光器输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜、针孔、透镜、分光棱镜、光阑和球面反射镜，所述的针孔固定在所述的显微物镜的焦点位置处，所述的透镜到针孔的距离恰好为透镜的焦距时，透镜所处的位置称为平衡位置，所述的透镜具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜作为合作目标固定在待测物体的表面上，在所述的分光棱镜的相干光输出面外设有成像装置。本发明专利技术将主要光路集成于单块分光棱镜中，结构简单；实现了被测物体振动监测与测量光路变化监测的分离；并且使用球面反射镜作为合作目标，可实现对物体三维振动测量的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及干涉测量装置，尤其涉及一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量直O
技术介绍
激光干涉仪作为一种有效的非接触性精密测量装置，已经在许多物理参量的测量上得到了越来越普遍的使用。由于其具有测量精度高、灵敏度高、动态范围大以及非接触测量等优点，干涉仪在振动测量领域也得到了广泛的应用。振动测量中采用的激光干涉仪通常可以分为两类(1)零差干涉仪-两束干涉光频率相同；(2)外差干涉仪-两束干涉光的频率略有不同。这两种方法都是以分振幅干涉为基础，采用两列平面波进行干涉。其中一列作为参考光波，另外一列作为测量光波，两列波返回后进入接受系统产生干涉条纹。干涉信号的强弱是由两束光的光程差决定的，而这反映了被测物体的振动状况。然而采用上述传统方法进行振动测量，通常是利用平面反射镜作为合作目标的， 因此对测量物体平面方向上的振动不敏感，也就是说振动测量系统是单维的，仅能对物体一个方向的振动进行测量分析，无法实现物体的三维振动测量，提供全面准确的信息。例如 “Noncontacthomodyne scanning laser vibrometer for dynamic measurement，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特征在于其构成包括激光器（１），沿该激光器（１）输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜（２）、针孔（３）、透镜（４）、分光棱镜（５）、光阑（６）和球面反射镜（７），所述的针孔（３）固定在所述的显微物镜（２）的焦点位置处，所述的透镜（４）到针孔（３）的距离恰好为透镜（４）的焦距时，透镜４所处的位置称为平衡位置，所述的透镜（４）具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜（７）作为合作目标固定在待测物体（８）的表面上，所述的分光棱镜（５）的分光面与所述的光轴成４５°，该分光面将从入射面进入的激光分为透射光和反射光，与入射面相对...

【技术特征摘要】
1.一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特征在于其构成包括激光器 (1)，沿该激光器(1)输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜O)、针孔(3)、透镜 G)、分光棱镜(5)、光阑(6)和球面反射镜(7)，所述的针孔C3)固定在所述的显微物镜(2) 的焦点位置处，所述的透镜⑷到针孔⑶的距离恰好为透镜⑷的焦距时，透镜4所处的位置称为平衡位置，所述的透镜(4)具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜(7)作为合作目标固定在待测物体(8)的表面上，所述的分光棱镜(5)的分光面与所述的光轴成45°，该分光面将从入射面进入的激光分为透射光和反射光，与入射面相对的一面外围镀有全反膜(52)，中间留有通光孔(53)，所述的透...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雪洁，黄伟，刘德安，张燕，刘芳，冯滔，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31