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一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特点在于其构成包括激光器，沿该激光器输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜、针孔、透镜、分光棱镜、光阑和球面反射镜，所述的针孔固定在所述的显微物镜的焦点位置处，所述的透镜到针孔的距离恰好为透镜的...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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