【技术实现步骤摘要】
本技术与真空镀膜机中电阻加热式蒸发源的电极结构有关。
技术介绍
电阻加热式蒸发源是利用发热体通电后，产生高温，使膜材熔化并蒸发的装 置，现有的蒸发电极通过很多分离的固定环和螺栓固定在电极棒上，结构复杂，安装、 使用、维护不方便
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单，调节灵活，安装维护方便的蒸发电 极。本技术是这样实现的本技术蒸发电极，由两平行的电极棒1与若干钨丝5组成，两电极棒1上有 一、一对应的圆弧槽6与导电杆2仿形，有与导电杆仿形的带圆弧槽的扣件3包容导电杆 2并通过螺钉将导电杆固定在电极棒上，若干导电杆平行布置，导电杆2的一端或两端有 盲孔与蝶形螺钉4螺纹配合，盲孔壁有穿孔与钨丝5的端部连接，蝶形螺钉4压紧钨丝端 部。电极棒1两端各有三个导电杆的长度较其它位置的导电杆长。本技术有如下优点1.用蝶形螺钉4将钨丝5压紧在导电杆2上，操作简单，结构可靠。2.导电杆2两端结构一样，可以在两端同时都安装钨丝5，增加蒸镀膜厚度。3.钨丝5间距不需人工调整保证，在电极棒1上按合理间距加工安装导电杆2的 圆弧槽6，节省每次维护保养后调整间距的时间4.导电杆2安装在电极棒1的圆弧槽内6，位置前后可以调整，满足多种蒸镀工 艺的需要。5.每套蒸发电极上下三组导电杆2的长度比中间位置导电杆长，可以使蒸镀工件 膜厚更加均勻。附图说明图1为本技术结构图。图2为图1的左视图。图3为图1的局部视图A。图4为图2的局部视图B。图5为图2的局部视图C。具体实施方式蒸发电极的 两平行的电极棒1上有一一对应的若干圆弧槽6与导电杆2仿形，扣 件3通过螺钉将导电杆2固定在电极棒1上。导电杆...
【技术保护点】
蒸发电极，其特征在于由两平行的电极棒（１）与若干钨丝（５）组成，两电极棒（１）上有一、一对应的圆弧槽（６）与导电杆（２）仿形，有与导电杆仿形的带圆弧槽的扣件（３）包容导电杆（２）并通过螺钉将导电杆固定在电极棒上，若干导电杆平行布置，导电杆（２）的一端或两端有盲孔与蝶形螺钉（４）螺纹配合，盲孔壁有穿孔与钨丝（５）的端部连接，蝶形螺钉（４）压紧钨丝端部。
【技术特征摘要】
1.蒸发电极，其特征在于由两平行的电极棒(1)与若干钨丝(5)组成，两电极棒(1) 上有一、一对应的圆弧槽(6)与导电杆(2)仿形，有与导电杆仿形的带圆弧槽的扣件(3) 包容导电杆(2)并通过螺钉将导电杆固定在电极棒上，若干导电杆平行...
【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，姜玉伦，段晓英，程锐，
申请(专利权)人：爱发科东方真空成都有限公司，
类型：实用新型
国别省市：90
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