新型真空镀膜设备制造技术

新型真空镀膜设备，属于真空镀膜设备技术领域。包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。结构合理简单，生产制造容易，成本低。将钨丝蒸发源和蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护。镀膜效果好，满足中高档产品的镀膜要求。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种新型真空镀膜设备，属于真空镀膜设备

技术介绍
现有的真空镀膜设备品种较多，一般的真空镀膜设备主要由支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室等构成，可以加工高端产品的真空镀膜设备成本较高，一些加工低端产品的真空镀膜设备成本较小，但质量无法保证。市场急需要一种成本低，镀膜效果好的真空镀膜设备。本技术的目的就是为满足市场的需要，提供一种投资少，镀膜效果好的真空镀膜设备。
技术实现思路
本技术的目的是通过对现有的真空镀膜设备的改进实现的，新型真空镀膜设备，包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，其特征是所述的真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。所述的圆环型堆放架的下端设有圆环槽。所述的支撑圆筒上端设有圆环槽，圆环槽内设有若干滚珠，滚珠支撑着圆环型堆放架下端的圆环槽。本技术结构合理简单，生产制造容易，成本低，镀膜效果好，满足中高档产品的镀膜要求。将多个钨丝蒸发源和一只蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护。待镀膜处理物体的堆放架是一圆环型堆放架，圆环型堆放架的圆环体下端中间有圆环槽，圆环体内侧有均匀分布的齿，圆环体内侧有均匀分布的齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合，可使电动机通过齿轮带动的圆环体匀速旋转。圆环型堆放架下端的支撑物为支撑圆筒，支撑圆筒上端中间有圆环槽，圆环槽内放有多个球形弹子与物体的堆放架圆环体下端的圆环槽啮合，使圆环型堆放架在匀速旋转时只有比较小的阻力。附图说明图1本技术的结构结构示意图；图2本技术的平面结构示意图；图3是图1中“M”处结构放大示意图；图4是图3的俯视图。-->图中：1左叶片泵上阀门、2支撑平台、3压盖、4管道、5空气阀、6压力表、7真空室外壁、8压盖、9把手、10观察窗、11真空室、12压力表、13管道、14弯头、15右叶片泵上阀门、16右叶片泵、17支撑架、18支撑架、19扩散泵、20管道、21左叶片泵、22圆环型堆放架、23钨丝蒸发源、24齿轮、25球形弹子、26支撑圆筒、27电动机、28电动机轴、29蒸发坩埚、30放气阀左进口、31电动阀门、32放气阀右进口。具体实施方式如图1、图2所示，在由支撑架17、支撑架18支撑的支撑平台2上左、右叶片泵、扩散泵和真空室，并通过管道、阀门连接。在真空室内设置由钨丝蒸发源23、蒸发坩埚29、圆环型堆放架22、支撑圆筒26和电动机27、电动机轴28、齿轮29构成的电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠(球形弹子)25设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，圆环型堆放架内壁上设置轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。圆环型堆放架的下端和支撑圆筒上端设置圆环槽，支撑圆筒上端的圆环槽内设若干滚珠，滚珠支撑着圆环型堆放架下端的圆环槽。在真空室11上端利用压盖上部把手9盖上压盖8，打开右叶片泵上阀门15，启动右叶片泵16，通过右叶片泵管道上弯头14和通向叶片泵管道13，对有真空室外壁7支撑的真空室11进行抽真空。当通过右叶片泵管道上压力表12观察到真空室11内部达到一定真空度时，关闭右叶片泵上阀门15和右叶片泵16，通过可带动扩散泵上压盖移动的空气阀5，打开扩散泵上压盖3，利用扩散泵19通过扩散泵管道4，对真空室11进行高真空度的抽气，(左叶片泵上阀门1和左叶片泵21处于常开状态通过扩散泵通向左叶片泵管道20对扩散泵19抽真空)当通过扩散泵管道上压力表6观察到真空室11内部达到一定真空度时，开动电动机27利用电动机轴28上的齿轮24带动下端中间有圆环槽的圆环型堆放架22匀速旋转。(堆放物体的圆环型堆放架22通过球形弹子25放在上端中间有圆环槽的支撑圆筒26上)启动钨丝蒸发源23对金属丝进行蒸发，关闭钨丝蒸发源23，启动蒸发坩埚29对氟化镁进行蒸发，利用压盖8上观察窗10控制所需蒸发量，蒸发完成后，关闭蒸发坩埚29、电动机27、扩散泵上压盖3、右叶片泵上阀门15，打开电动阀门31，让空气经过放气阀左进口30、放气阀右进口32进入真空室11，利用压盖上部把手9打开压盖8，就可取出进行了镀膜处理的物体。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜设备，包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，其特征是所述的真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦康生，陈荣发，吴宝伟，陆素梅，
申请(专利权)人：扬州大学，
类型：实用新型
国别省市：32