一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，包括一个腔体，在以所述腔体的几何中心为原点的所述腔体的横向方向上设置有半导体激光器、柱形镜片及消光尾腔；半导体激光器和柱形镜片位于所述腔体的一侧，消光尾腔位于腔体的另一侧；柱形镜片使激光光源形成一光敏区；在所述腔体的纵向方向上设置有对称于光敏区分布的第一球面反射镜和第二球面反射镜，第一球面反射镜或第二球面反射镜上设置有小孔，在设置有小孔的第一球面反射镜或第二球面反射镜的后方设置有与小孔相对应的接收装置；所述腔体的纵向方向上还设置有气路系统。通过本实用新型专利技术可以实现在采样量不低于５０Ｌ／ｍｉｎ时能准确检测到尘埃颗粒的大小和数量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种洁净度检测装置，具体涉及一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器。
技术介绍
尘埃粒子计数器是一种用于检测单位体积内尘埃颗粒的大小和数量的检测装置，可以准确地检测洁净工作室的洁净度，已广泛应用于制药、电子、卫生以及实验室等部门的洁净度检测。光电传感器是尘埃粒子计数器的重要组成部分，当前尘埃粒子计数器的光电传感器所能检测的空气流量都不超过30L/min，采样量较小，使得对洁净度的检测不够全面，不能满足现有高洁净度环境的检测；而如果将流量提高至50L以上，使用现有尘埃粒子计数器的光电传感器进行处理，会由于气体流速太快而不能完整地处理尘埃颗粒的信号，导致误差太大，测量结果的准确性过低。因此，一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器亟待出现。
技术实现思路
为解决上述技术问题，我们提出了一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，以实现可以在采样量为不低于50L/min时能准确检测到尘埃颗粒的大小和数量。为达到上述目的，本技术的技术方案如下：一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，包括一个腔体，在以所述腔体的几何中心为原点的所述腔体的横向方向上设置有半导体激光器、柱形镜片以及消光尾腔；所述半导体激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，其特征在于，包括一个腔体，在以所述腔体的几何中心为原点的所述腔体的横向方向上设置有半导体激光器、柱形镜片以及消光尾腔；所述半导体激光器和所述柱形镜片位于所述腔体的一侧，所述消光尾腔位于所述腔体的另一侧；所述柱形镜片使所述激光光源形成一光敏区；在所述腔体的纵向方向上设置有对称于所述光敏区分布的第一球面反射镜和第二球面反射镜，所述第一球面反射镜或第二球面反射镜上设置有小孔，在设置有小孔的所述第一球面反射镜或第二球面反射镜的后方设置有与所述小孔相对应的接收装置；所述腔体的纵向方向上还设置有气路系统。

【技术特征摘要】
1.一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，其特征在于，包括一个腔体，在以所述腔体的几何中心为原点的所述腔体的横向方向上设置有半导体激光器、柱形镜片以及消光尾腔；所述半导体激光器和所述柱形镜片位于所述腔体的一侧，所述消光尾腔位于所述腔体的另一侧；所述柱形镜片使所述激光光源形成一光敏区；在所述腔体的纵向方向上设置有对称于所述光敏区分布的第一球面反射镜和第二球面反射镜，所述第一球面反射镜或第二球面反射镜上设置有小孔，在设置有小孔的所述第一球面反射镜或第二球面反射镜的后方设置有与所述小孔相对应的接收装置；所述腔体的纵向方向上还设置有气路系统。2.根据权利要求1所述的大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，其特征在于，在所述柱形镜片和所述消光尾腔之间还设置有第一柱形光栏和第二柱形光栏，所述第一柱形光栏和第二柱形光栏对称于所述光敏区。3.根据权利要求1所述的大流量尘埃粒子计数器的光电传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾世清，
申请(专利权)人：苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]