电钻防尘装置制造方法及图纸

一种电钻防尘装置，包括：固定单元，适于将所述电钻防尘装置固定于电钻上；吸尘单元，罩于电钻钻头周围，吸纳电钻运动过程中产生的灰尘；调节单元，适于连接所述固定单元和所述吸尘单元，并随着电钻的运动调节所述电钻防尘装置的长度，保持所述吸尘单元依附于电钻施工对象的表面。本实用新型专利技术通过在钻头周围形成低压的吸尘单元，为电钻施工提供高效、方便的除尘。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造工艺中的污染控制技术，特别是电钻防尘装置。
技术介绍
随着我国国民经济的持续稳定增长和生产技术的不断创新发展，大规模和超大规 模集成电路(IC)生产中的前后多道工序对生产环境提出了更高的要求。同时，随着IC的 集成度和复杂性越来越高，污染控制技术就越制约着微电子技术的发展。在半导体制造工艺中，不仅仅要保持一定的温/湿度以及控制静电，还需要维持 较高的洁净度。目前，大规模IC生产过程中，尤其是IC封装阶段，要求控制0. 1 μ m的尘粒 达到1级甚至更严。如果尘埃、污物被带入半导体器件的生产车间，吸附在芯片上，将影响产品质量、 恶化产品性能，大大降低IC成品率，甚至导致产品报废。例如，当吸附的灰尘粒子的半径大 于100 μ m、线条宽度约IOOym时，薄膜厚度在50 μ m下时，最易使产品报废。在半导体制造工艺中，通常需要采用电钻在电路板等元件上打孔，打孔步骤会产 生较多的细屑、粉尘等，对生产环境具有较大污染。由于电钻在运动的过程中持续会产生粉 尘，目前使用的吸尘器通常只能将不到1/3的灰尘颗粒吸掉，无法真正起到除尘的效果，而 有些采用搭建洁净棚的方式以提供解决方案，虽然保持了洁净度，但也带来了高额的成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电钻防尘装置，为电钻施工提供高效、方便的除/K土。为实现上述目的，本技术提供了一种电钻防尘装置，包括固定单元，适于将 所述电钻防尘装置固定于电钻上；吸尘单元，罩于电钻钻头周围，吸纳电钻运动过程中产生 的灰尘；调节单元，适于连接所述固定单元和所述吸尘单元，并随着电钻的运动调节所述电 钻防尘装置的长度，保持所述吸尘单元依附于电钻施工对象的表面。相较于现有技术，本技术具有以下有益效果通过在钻头周围形成低压的吸 尘单元，有效地阻挡电钻钻头施工过程中产生的绝大部分灰尘的扩散，并及时地对灰尘进 行了排出，为电钻施工提供高效、方便的除尘，有效地解决了灰尘污染问题。附图说明图1为本技术电钻防尘装置一种实施方式的结构示意图；图2为本技术电钻防尘装置一种实施方式中固定单元的结构示意图；图3为本技术电钻防尘装置一种具体实施方式中固定单元的电钻连接部鱼 连接固定部为一体形成的结构示意图；图4为本技术电钻防尘装置一种具体实施方式中固定单元的连接锁定部的 结构示意图；图5为本技术电钻防尘装置一种实施方式中吸尘单元的结构示意图；图6为本技术电钻防尘装置一种具体实施例的结构示意图。具体实施方式在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本实用新 型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新 型内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。其次，本技术利用示意图进行详细描述，在详述本技术实施例时，为便于 说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在 此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空 间尺寸。以下结合附图和具体实施例，对本技术实施方式做进一步详细说明。参考图1，本技术提供了一种电钻防尘装置100，至少包括固定单元110，适 于将电钻防尘装置100固定于电钻上；吸尘单元120，为一中空腔室，罩于电钻钻头周围，吸 纳电钻运动过程中产生的灰尘；调节单元130，适于连接固定单元110和吸尘单元120，并随 着电钻的运动调节电钻防尘装置100的长度，保持吸尘单元120依附于电钻施工的对象表 面。参考图2，在电钻防尘装置100的一种实施方式中，固定单元110至少可包括电 钻连接部201，适于连接电钻；以及连接固定部202，适于连接电钻连接部201与调节单元 130。其中，在一种具体实施例中，电钻连接部201与连接固定部202为分离的两个结构 体，并且连接固定部202的一端采用焊接、固定铆接、密缝铆接等方式与电钻连接部201相 连接，连接固定部202的另一端采用焊接、固定铆接、密缝铆接等方式与调节单元130相连 接，以保证电钻在工作过程中，通过电钻与固定单元110的连接，能够带动调节单元130随 之产生相应的运动。具体地，电钻连接部201可为中空的管状体，电钻连接部201的管直径与电钻相 匹配，例如可和电钻定子相匹配。连接固定部202可采用现有的多种常用连接部件之一或 其组合，以实现电钻连接部201与调节单元130的连接和固定，其中，连接固定部202具有 贯通的中空结构，所述中空结构的截面形状与大小匹配于电钻钻头，适于将电钻头贯通插 入。在一种具体实施例中，连接固定部202可为具有一定横截面形状的带孔的块状体或片 状体，例如其横截面形状可为圆形、方形、菱形等，具体形状并不对其与电钻连接部201的 连接造成影响。在其它的具体实施例中，电钻连接部201与连接固定部202还可为一体形成的。 例如，参考图3，电钻连接部201与连接固定部202具体可为一具有基座212的管状体211 ； 其中，该基座212可为横截面具有一定形状的块状体或片状体，例如其横截面可为圆形、方 形、菱形等，基座212的面积不小于管状体211的截面面积，所述基座中具有贯通的孔213， 孔213的截面面积小于管状体211的截面面积。此外，固定单元110还可包括连接锁定部，适于对电钻连接部201与电钻的连接 进行锁定。参考图4，在具体实施方式中，电钻连接部201为管状体，所述连接锁定部可包括锁扣301和紧固螺丝302 ；其中，锁扣301可为环形，包围在电钻连接部201的外侧表 面，且在所述环形缺口处具有相向设置的凸起，所述凸起适于与紧固螺丝302相匹配，使得 通过紧固穿过所述凸起的紧固螺丝302时，锁扣301也随之收紧，进而收紧被锁扣301所环 绕的电钻连接部201，从而保证电钻与电钻连接部201的紧密连接。在本技术电钻防尘装置100的一种实施方式中，参考图5，吸尘单元120为呈 圆柱体的中空腔室，所述腔室的一侧底面与调节单元130相连接，该底面上设置腔室壁，在 该底面的腔室壁上设置有钻头孔401，适于钻头穿入。与该底面相对的一侧底面贴合于电 钻施工对象的表面，该底面敞开不设置腔室壁，使得吸尘单元120与所述电钻施工对象的 表面紧密贴合。在吸尘单元120的体侧设置有腔室壁，便于聚集钻头施工过程中产生的灰 尘；并且，在该体侧设置有排尘管道402，排尘管道402的孔径大于钻头孔401的孔径，以防 止灰尘从钻头孔401泄漏。排尘管道402适于与外接吸尘设备相连接，通过开启外接吸尘 设备，使得吸尘单元120处于低压状态，便于将钻头产生的灰尘从排尘管道402排出。在其它实施方式中，吸尘单元120可具有其它形态，例如正方体、长方体等，具体 来说，将吸尘单元120中一个面设置为钻头穿入面，其中所述钻头穿入面设置有腔室壁，以 及在腔室壁中设置钻头孔；将与所述钻头穿入面相对的另一个面设置为与钻头施工对象表 面相贴合的面，该面不设置腔室壁。在另外四面中都设置腔室壁，且在其中任意一面中设置 排尘管道。吸尘单元120的具体形态不对其实施有影响。在具体实现中，调节单元130可包括伸缩部件，例如弹簧；其一端与固定单元110 相连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电钻防尘装置，其特征在于，包括：固定单元，适于将所述电钻防尘装置固定于电钻上；吸尘单元，罩于电钻钻头周围，吸纳电钻运动过程中产生的灰尘；调节单元，适于连接所述固定单元和所述吸尘单元，并随着电钻的运动调节所述电钻防尘装置的长度，保持所述吸尘单元依附于电钻施工对象的表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘铁柱，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]