一种高灵敏度的电容传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本实用新型专利技术涉及的高灵敏度的电容传感器，通过大大增加电容极板的等效变化面积，从而大大提高器件测量的灵敏度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微机电(MEMQ领域的电容传感器，尤其涉及一种高灵敏度 的电容传感器。
技术介绍
电容式传感器是将被测的非电量变化，如位移、压力变化等，转换为电容量变化的 一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件 下工作，这是它的独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成 为一种前景可观的传感器。电容式传感器的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个 平行电极组成、极间以空气为介质的电容器(见图1)。若忽略边缘效应，平板电容器的感应 电容的计算方式为^ S-A,,,,C =--(1)式1中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积，g为两电极之 间的距离。g、A、e三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，并可用于测量。因此电 容式传感器可分为变间距型、变面积型和变介质型三类。其中，变间距型和变面积型电容式传感器(见图2A和图2B)的感应电容变量分别 为ρ Δι1 丨 A I (2) IAC —三 I 似 I (3)由此看出，变间距型电容的结构设计中，电容变化与位移成非线性关系(见式2)， 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周汉秦，蒋乐跃，
申请(专利权)人：美新半导体无锡有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]