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本实用新型涉及一种高灵敏度的电容传感器,其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指,其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本实用新型涉及的高灵敏度的电容传感器,通过大大增加电容极...该专利属于美新半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种高灵敏度的电容传感器,其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指,其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本实用新型涉及的高灵敏度的电容传感器,通过大大增加电容极...