绿光激光器制造技术

本实用新型专利技术提供一种绿光激光器，包括用于发射泵浦光的ＬＤ泵浦光源、用于将泵浦光转换为基频光的激光晶体以及用于将基频光转换为绿色倍频光的倍频晶体，所述激光晶体的出光面上则镀有泵浦光部分反射膜；其中，泵浦光部分反射膜将所述激光晶体尚未转换的泵浦光反射回所述激光晶体内。本实用新型专利技术通过在激光器中的激光晶体的出光面镀泵浦光部分反射膜，可以在保持所述激光晶体对泵浦光吸收效率不变的前提下，降低激光晶体的掺杂浓度，避免了激光晶体因为较高的掺杂浓度而造成的热分布不均匀、热效应明显的问题。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学领域，特别涉及一种绿光激光器。
技术介绍
LD泵浦的固体激光器由于具有较高的能量转换效率以及体积小、结构紧凑、稳定、 寿命长和全固化等优点而具有广阔的应用前景。在具体应用中，对激光器所发出激光的颜 色有多种需求，发出绿色激光的绿光激光器就是一种常见的激光器。目前，LD泵浦的固体 绿光激光器主要包括LD泵浦光源、激光晶体和倍频晶体。其中，激光晶体接收到LD泵浦光 源发射的泵浦光后，将泵浦光转换为基频光，该基频光通过所述倍频晶体后变为倍频光，波 长在500nm-570nm范围内的倍频光属于绿光。在LD端面泵浦固体激光器中，通常通过镀膜的方法使得激光晶体的一个端面作 为激光器中谐振腔的前腔镜。图1为现有技术中在激光晶体的两端面镀激光膜的一种方 式，即在激光晶体的入光面镀泵浦光高透、基频光和倍频光高反的膜，在激光晶体的出光面 镀基频光高透膜和倍频光高反膜。在通过上述方式完成镀膜操作以后，可将所得到的激光 晶体的入光面作为谐振腔的前腔镜。但是上述现有镀膜方法有如下缺点1)激光晶体中未吸收的泵浦光会从激光晶体的出光面出射，降低了激光晶体对泵 浦光的吸收效率，虽然可以通过提高激光晶体掺杂浓度或加长激光晶体通光方向长度的方 法来提高激光晶体对泵浦光的吸收效率，但提高激光晶体掺杂浓度的方法会使得在激光晶 体端面上就几乎全部吸收泵浦光，造成热积聚于激光晶体的端面，由此带来热透镜及端面 形变问题，也就是所说的热分布不均勻、热效应明显等问题；而加长激光晶体通光方向长度 的方法会使再吸收现象加重，此外，考虑到泵浦光聚焦系统、最佳模式匹配等因素，激光晶 体的长度也不可能增加很多；2)通过倍频晶体产生的倍频光一部分从倍频晶体的出光面出射，还有一部分倍 频光通过镀有倍频光高透膜的激光晶体出光面入射到激光晶体中，激光晶体吸收到倍频光 后，增加了激光晶体的热效应，降低了激光晶体的稳定性。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有绿光激光器中的镀膜方法使得激光晶体对泵浦光 的吸收效率较低的缺陷，从而提供一种具有较高吸收效率的绿光激光器。为了实现上述目的，本技术提供了一种绿光激光器，包括用于发射泵浦光的 LD泵浦光源、用于将泵浦光转换为基频光的激光晶体以及用于将基频光转换为绿色倍频光 的倍频晶体，所述激光晶体的出光面上则镀有泵浦光部分反射膜；其中，所述泵浦光部分反射膜将所述激光晶体尚未转换的泵浦光反射回所述激光晶体 内。上述技术方案中，所述激光晶体的入光面上镀有泵浦光高透膜、基频光高反膜和倍频光高反膜，所述激光晶体的出光面上还镀有基频光高透膜以及倍频光高透膜。上述技术方案中，所述激光晶体的入光面上镀有泵浦光高透膜以及基频光高反 膜，所述激光晶体的出光面上还镀有基频光高透膜以及倍频光高反膜。上述技术方案中，还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜位于所述LD泵浦光源与激光晶 体之间，用于将所述LD泵浦光源发射的泵浦光聚焦后发射到所述激光晶体上。上述技术方案中，所述泵浦光部分反射膜的反射率要使得所反射的泵浦光经由所 述激光晶体的出光面透射出后的光功率小于所述LD泵浦光源的损伤阈值。上述技术方案中，所述LD泵浦光源所发出的泵浦光的波长为808nm，所述泵浦光 部分反射膜为适合反射波长为808nm的光的部分反射膜。本技术还提供了一种绿光激光器，包括用于发射泵浦光的LD泵浦光源、用于 将泵浦光转换为基频光的激光晶体以及用于将基频光转换为绿色倍频光的倍频晶体，所述 激光晶体的出光面上镀有倍频光高反膜；其中，所述倍频光高反膜将所述倍频晶体所生成的且入射到所述激光晶体上的倍频光 反射回所述倍频晶体。上述技术方案中，所述激光晶体的入光面上镀有泵浦光高透膜和基频光高反膜， 所述激光晶体的出光面上还镀有基频光高透膜。上述技术方案中，所述激光晶体的入光面上镀有泵浦光高透膜和基频光高反膜， 所述激光晶体的出光面上还镀有基频光高透膜和泵浦光部分反射膜；所述泵浦光部分反射 膜将所述激光晶体尚未转换的泵浦光反射回所述激光晶体内。上述技术方案中，还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜位于所述LD泵浦光源与激光晶 体之间，用于将所述LD泵浦光源发射的泵浦光聚焦后发射到所述激光晶体上。上述技术方案中，所述泵浦光部分反射膜的反射率要使得所反射的泵浦光经由所 述激光晶体的出光面透射出后的光功率小于所述LD泵浦光源的损伤阈值。上述技术方案中，所述LD泵浦光源所发出的泵浦光的波长为808nm，所述泵浦光 部分反射膜为适合反射波长为808nm的光的部分反射膜。上述技术方案中，所述LD泵浦光源所发出的泵浦光的波长为808nm，所述激光晶 体将所述波长为808nm的泵浦光转换成波长为1064nm的基频光，所述倍频晶体将所述波长 为1064nm的基频光转换为波长为532nm的倍频光；所述倍频光高反膜为适合反射波长为 532nm的光的高反膜。本技术的优点在于1、本技术通过在激光器中的激光晶体的出光面镀泵浦光部分反射膜，可以在 保持所述激光晶体对泵浦光吸收效率不变的前提下，降低激光晶体的掺杂浓度，避免了激 光晶体因为较高的掺杂浓度而造成的热分布不均勻、热效应明显的问题。2、本技术通过在激光器中的激光晶体的出光面镀倍频光高反膜，使得倍频光 不会进入到所述激光晶体内，从而提高了激光晶体的稳定性。附图说明图1为现有技术中激光晶体的两个端面所镀的膜的示意图；图2为本技术的绿光激光器在一个实施例中的结构示意图；图3为在一个实施例中绿光激光器中的激光晶体的两个端面所镀的膜的示意图；图4为在另一个实施例中绿光激光器中的激光晶体的两个端面所镀的膜的示意 图；图5为在又一个实施例中绿光激光器中的激光晶体的两个端面所镀的膜的示意 图；图6为本技术的绿光激光器在另一个实施例中的结构示意图。具体实施方式以下结合具体实施例及附图对本技术进一步说明，但不作对其的限定。在图2中给出了本技术的绿光激光器在一个实施例中的结构示意图。如图2 所示，该绿光激光器包括LD泵浦光源101、激光晶体102和倍频晶体103。下面对该绿光 激光器中的上述部件的结构、功能与实现分别加以说明。其中，LD泵浦光源101用于发射泵浦光；所述泵浦光的波长可以有多种可能，例 如，波长为808nm的泵浦光，或波长为880nm的泵浦光。在本实施例中，所述LD泵浦光源 101发射的泵浦光的波长为808nm。激光晶体102用于将LD泵浦光源101发射的泵浦光转换为基频光。图3为本实 施例中所述激光晶体的两个端面所镀的膜的示意图，如图3所示，在激光晶体102的入光面 上镀有泵浦光高透膜，基频光高反膜和倍频光高反膜，而在激光晶体102的出光面上则镀 有泵浦光部分反射膜，基频光高透膜以及倍频光高透膜。正如
技术介绍
中所提到的，现有技术通过提高激光晶体掺杂浓度来提高所述激光 晶体对泵浦光的吸收率，但较高掺杂浓度会使得激光晶体的端面吸收几乎全部的泵浦光， 造成热积聚于激光晶体的端面，带来热分布不均勻、热效应明显的问题；而热分布不均勻也 容易使得聚集热量的端面产生形变。因此，与图1所示的现有技术相比，在本实施例中，在 所述激光晶体102的出光面上还镀有泵浦光部分反射膜，这使得未被激光晶体吸收的泵浦 光到达镀有所述泵浦光部分反射膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种绿光激光器，包括用于发射泵浦光的ＬＤ泵浦光源（１０１）、用于将泵浦光转换为基频光的激光晶体（１０２）以及用于将基频光转换为绿色倍频光的倍频晶体（１０３），其特征在于，所述激光晶体（１０２）的出光面上则镀有泵浦光部分反射膜；其中，所述泵浦光部分反射膜将所述激光晶体（１０２）尚未转换的泵浦光反射回所述激光晶体（１０２）内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑛，毕勇，刘谊元，
申请(专利权)人：北京中视中科光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]