平板制造用浆料涂敷机制造技术

本实用新型专利技术的课题在于提供一种平板制造用浆料涂敷机，能够以简单的构成具备多个涂敷头并且实现轻量化，能够在基板上正确地描绘要求形状的浆料图案。浆料涂敷机（１００）具备：配置在架台（１）上且放置基板（８）的基板保持盘（６）；利用直线电动机可在Ｘ轴方向移动的支架（２Ａ、２Ｂ）；配置在支架（２Ａ、２Ｂ）上且利用直线电动机可在Ｙ轴方向移动的涂敷头（５Ａ～５Ｄ）；以及使支架（２Ａ、２Ｂ）及涂敷头（５Ａ～５Ｄ）分别移动并向基板（８）连续地喷出浆料而描绘浆料图案的主控制部（９）及副控制部（１０）。而且，基板保持盘（６）在平行的多个纵部件上固定与纵部件正交且互相平行的多个横部件而构成为井字形。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种平板制造用浆料涂敷机，其在平板、半导体组装的制造工序中使 用，将平板放置在和喷出浆料的喷嘴相对地配置的工作台上，使填充在浆料收纳筒内的浆 料从喷嘴的喷出口喷出到平板上，并同时改变平板和喷嘴的相对位置而将浆料连续地涂敷 在平板上，描绘要求形状的图案(浆料图案)。
技术介绍
公知的平板制造用浆料涂敷机，具有沿和放置在工作台上的平板(基板)等的上 主面(涂敷浆料的面)平行的一方向移动的支架、以及设有喷嘴和浆料收纳筒的头部(涂 敷头)，所述喷嘴具有与基板相对的喷出口，涂敷头设置成沿支架的长度方向移动。这种平板制造用浆料涂敷机，使支架和涂敷头移动到基板上的要求位置，并同时 从喷嘴的喷出口喷出浆料，由此能够在基板上描绘要求形状的浆料图案。例如，专利文献1中记载的浆料涂敷机(平板制造用浆料涂敷机)构成为，Y轴移 动工作台(支架)及Z轴移动工作台(涂敷头)通过使用滚珠丝杠的移动机构而进行移 动。专利文献1 (日本)特开2000-93866号公报例如，在一片基板上描绘多个浆料图案时，可通过设置多个支架及涂敷头而具备 多个浆料喷出口，从而可高效地同时描绘多个浆料图案。但是，像专利文献1记载的那样，在支架及涂敷头通过使用滚珠丝杠的移动机构 而动作的浆料涂敷机上具备多个支架及涂敷头时，每个支架及涂敷头都需要滚珠丝杠、伺 服电动机，存在浆料涂敷机的结构变得复杂并且装置的重量增加这样的问题。此外，各滚珠丝杠由于工作中的温度上升而产生热膨胀误差，因此，存在不易进行 各涂敷头的正确的位置控制这样的问题。另外，还有在基板上存在的多个可动部上产生尘 埃而该尘埃附着在基板上的问题。
技术实现思路
于是，本专利技术的课题在于提供一种平板制造用浆料涂敷机，其能够以简单的构成 具备多个浆料喷出口并且实现轻量化，能够在基板上正确地涂敷浆料而描绘要求形状的浆 料图案，进而能够减轻基板的污染。另外，本专利技术的另一课题在于提供一种平板制造用浆料涂敷机，其尽管具有简单 的构成，但也能够在基板上稳定、高速且正确地描绘要求形状的浆料图案。为了解决所述课题，本专利技术的平板制造用浆料涂敷机，利用直线电动机使具备浆 料喷出口的涂敷头移动，在基板上描绘浆料图案。另外，使纵部件和横部件组成井字形，形成放置基板的工作台。此外，构成为用防尘罩覆盖涂敷头的移动机构。根据本专利技术，能够通过使纵部件和横部件相互正交形成的井字形的构造物而构成4放置基板的工作台。因而，与用一块板形成工作台的情况相比，可使工作台轻量化，进而能 够使平板制造用浆料涂敷机轻量化。另外，可在多个支架的每一个上配置具有浆料喷出口的多个涂敷头，进而可构成 为利用直线电动机使支架及涂敷头移动。因而，能够在基板上高速地描绘浆料图案。另外，可用防尘罩覆盖涂敷头的移动机构，从而可防止涂敷头的移动机构中产生 的尘埃的飞散。根据本专利技术，能够提供一种平板制造用浆料涂敷机，其能够以简单的构成具备多 个涂敷头并且实现轻量化，能够在基板上正确地描绘要求形状的浆料图案，进而能够减轻 基板的污染。另外，能够提供一种平板制造用浆料涂敷机，其尽管具有简单的构成，但也能够在 基板上稳定、高速且以正确的要求形状的图案来涂敷浆料。S卩，本专利技术提供一种平板制造用浆料涂敷机，在放置于架台上的工作台上的基板 上涂敷浆料而描绘要求形状的浆料图案，其特征在于，具备支架，能够在与放置在所述工 作台上的所述基板的、描绘有所述浆料图案的上主面平行的面内沿第一方向移动，并且沿 与该第一方向不同的第二方向延伸；多个涂敷头，能够沿所述第二方向移动地排列在所述 支架上，具备浆料收纳筒和喷嘴，所述喷嘴形成有将填充在该浆料收纳筒的浆料喷出的喷 出口 ；涂敷头推进用直线电动机，使所述多个涂敷头相对于所述支架单独移动；以及控制 单元，控制所述涂敷头推进用直线电动机，以在所述喷出口对着所述上主面的范围内使所 述多个涂敷头单独移动，并且，使所述支架移动，从所述喷出口连续地喷出浆料以在所述上 主面上描绘所述浆料图案，所述工作台是在相互平行地配置的多个纵部件上固定与该纵部 件正交的多个横部件而形成为井字形的构造物。其中，所述涂敷头推进用直线电动机包括支架部磁铁，沿着所述第二方向配置在 所述支架上；以及头部电枢线圈，与所述支架部磁铁相对地分别配置在所述多个涂敷头，能 够使所述多个涂敷头以20 500mm/s的移动速度单独移动。 所述平板制造用浆料涂敷机具备支架推进用直线电动机，所述支架推进用直线电 动机包括架台部磁铁，沿着所述第一方向配置在所述架台上；以及支架部电枢线圈，以与 所述架台部磁铁相对的方式配置在支承所述支架的可动部上，所述支架推进用直线电动机 使所述支架以20 500mm/s的移动速度沿所述第一方向移动。所述平板制造用浆料涂敷机具备高度调节单元，所述高度调节单元将放置在所述 工作台上的所述基板的所述上主面和所述喷嘴的前端之间的距离调节为所述浆料图案从 所述基板隆起的高度。其中，所述高度调节单元能够在5 80 μ m的范围内调节所述上主面和所述喷嘴 的前端之间的距离。所述平板制造用浆料涂敷机具备空气压力施加单元，所述空气压力施加单元具有 对所述浆料收纳筒施加空气压力并调节所述空气压力的功能。所述空气压力施加单元能够在0. 05 1. OOMPa的范围内对所述空气压力进行调节。所述平板制造用浆料涂敷机具备吸引机构部，所述吸引机构部吸引所述涂敷头推 进用直线电动机周围的空气、和放置在所述工作台上的所述基板的周围的空气。所述平板制造用浆料涂敷机中，隔着所述吸引机构部配置有两台剥离单元，所述 剥离单元用于将放置于所述工作台上的所述基板上所附着的尘埃剥离。所述平板制造用浆料涂敷机，具备防尘罩，所述防尘罩覆盖所述涂敷头推进用直 线电动机和安装有所述电枢线圈的所述涂敷头的基台部，所述吸引机构部吸引被所述防尘 罩覆盖的内侧的空气。其中，所述工作台能够沿所述第一方向移动。所述平板制造用浆料涂敷机具备校正机构，所述校正机构使所述多个涂敷头分别 相对于所述支架沿所述第一方向移动。附图说明图1是表示本实施方式的浆料涂敷机的一实施方式的概略立体图；图2是表示基板保持盘的结构的立体图；图3是表示吸附板的结构的立体图。图4(a)是从Y轴方向看浆料涂敷机的支架的可动部的一具体例的侧视图，(b)是 从χ轴方向看浆料涂敷机的支架的可动部的一具体例的侧视图；图5(a)是从Y轴方向看浆料涂敷机的涂敷头及其移动机构的一具体例的侧视图， (b)是涂敷头的立体图；图6 (a)是表示配置在涂敷头上的光学式测距仪和设置在浆料收纳的前端上的喷 嘴的位置关系的立体图，(b)是图6(a)的Al部放大图；图7是表示主控制部及其控制系统的一具体例的块图；图8是表示副控制部及其控制系统的一具体例的块图；图9(a)是表示在基板上涂敷的浆料图案的一具体例的图，(b)是表示假密封的 一具体例的图；图 10图 11图 12图 13图 14图 15图 16图 17图 18图 19图 20图 21图 22图 23图 24图 256是表示描绘了小型的浆料图案的基板的是表示向基板描绘浆料图案的描绘动作的一具体例的流程是表示浆料图案的涂敷开始位置及原点位置的是详细地表示图11的步骤500的流程是详细地表示图13的步骤520的流程是表示X本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板制造用浆料涂敷机，在放置于架台上的工作台上的基板上涂敷浆料而描绘要求形状的浆料图案，其特征在于，具备：　　支架，能够在与放置在所述工作台上的所述基板的、描绘有所述浆料图案的上主面平行的面内沿第一方向移动，并且沿与该第一方向不同的第二方向延伸；　　多个涂敷头，能够沿所述第二方向移动地排列在所述支架上，具备浆料收纳筒和喷嘴，所述喷嘴形成有将填充在该浆料收纳筒的浆料喷出的喷出口；　　涂敷头推进用直线电动机，使所述多个涂敷头相对于所述支架单独移动；以及控制单元，　　控制所述涂敷头推进用直线电动机，以在所述喷出口对着所述上主面的范围内使所述多个涂敷头单独移动，并且，使所述支架移动，从所述喷出口连续地喷出浆料以在所述上主面上描绘所述浆料图案，　　所述工作台是在相互平行地配置的多个纵部件上固定与该纵部件正交的多个横部件而形成为井字形的构造物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：川隅幸宏，渡边健，小菅忠男，石田茂，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：实用新型
国别省市：JP[]