一种微型六轴集成加速度计陀螺仪的惯性传感器及其应用方法技术

本发明专利技术公开了一种微型六轴集成加速度计陀螺仪的惯性传感器及其应用方法，该惯性传感器能够同时测量三维空间坐标中运动物体的三轴加速度和三轴角加速度。该传感器采用MEMS工艺在硅片上刻蚀微结构：振子、弹性梁和外框架，利用振子的惯性力测量三轴加速度和三轴角加速度，通过在振子表面粘接平衡质量块和非平衡质量块的方法实现加速度信号和角加速度信号的解耦，采用半导体掺杂工艺在弹性梁上制作力敏电阻，通过特殊的力敏电阻组桥方法和信号处理方法，得到运动物体的三轴加速度和三轴角加速度。本发明专利技术主要应用在车辆、船舶等中等精度要求的导航。

Inertial sensor for miniature six axis integrated accelerometer gyroscope and application method thereof

The invention discloses a micro inertial sensor integrated six axis accelerometer gyroscope and its application method, the inertial sensor to three axis acceleration measurement of moving 3D coordinates in object simultaneously and three angular acceleration. The sensor adopts MEMS etching micro structure on silicon wafer: oscillator, elastic beam and frame, inertial force by vibrator measurement of three axis three axis acceleration and angular acceleration, by decoupling acceleration and angular acceleration signals at the transducer surface bonding balance mass and non-equilibrium mass production methods. The force on the elastic beam resistance by using the semiconductor doping process, through a special force sensitive resistor bridge method and signal processing method, three axis acceleration of moving object and three axis angular acceleration. The invention is mainly used for medium precision navigation of vehicles, ships, etc..

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种微型六轴集成加速度计陀螺仪的惯性传感器，其特征在于：所述惯性传感器两个相同的硅微结构；所述硅微结构包括正方形振子、４个弹性梁和正方形外框架；所述振子表面分别粘接平衡质量块和非平衡质量块；所述弹性梁上制作有力敏电阻。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨川，李晨，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：87