The invention discloses a multifunctional vacuum chuck comprises a chuck body, gas joint, rotary switch, positioning, gas channels are arranged on a circumference of the radial disk in vitro to the center of the gas channel opening plug with a plug, the front disc is arranged in the center and the stomata into gas passage communicated with a gas inlet hole spin. Joint center of the back plate body is provided with a mounting groove, a rotary switch is installed on the outer side of the groove is provided with a plurality of gas channels through the rotation of the adsorption tank rotating switch is arranged outside ring, a mounting groove, adsorption groove bottom and the gas channel is communicated with the mounting groove, groove of the outer ring of the adsorption edges are provided with a plurality of positioning a cylindrical pin is positioned in the gas passage extending within the section is provided with a through hole. The invention adopts an integral vacuum disc body, which is suitable for the adsorption of silicon wafers of different specifications, has simple processing, low manufacturing cost and shortened processing cycle. ?
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体光刻机领域,尤其涉及一种多功能真空吸盘。
技术介绍
盘体是半导体光刻机设备必须配置的零部件,用于吸附固定硅片,初步定位硅片的位 置,保证在光刻过程中硅片能随工件台的移动到达正确的位置及以正确的路线和速度移 动。由于硅片的表面需要涂覆光刻胶,所以硅片的定位固定方式多用吸附式。硅片的吸附又分为真空吸附式,静电吸附式。静电盘体的原理是使用高压直流电 源产生极性电荷,与硅片的电荷相反,相异电荷相吸,从而实现硅片的吸附。静电盘体的加 工工艺要求高,使用流程复杂,制造成本较高。真空吸附的原理是利用盘体表面与硅片表面 接触,盘体通真空后,盘体表面吸附槽内形成真空,从而吸附固定硅片。常用的盘体一般都 是只吸附一种规格的硅片。不同规格的硅片放置在不同的盘体上工作。现代工业化的发 展,要求小批量,多样化的生产越来越多,不同种规格的硅片在同一个机台上的加工需求量 越来越大,为了满足不同规格尺寸的硅片的需求,本专利技术专门设计多功能盘体,满足不同规 格尺寸的硅片的定位吸附。现在常用的有6英寸、8英寸等硅片。而实验用的硅片尺寸更加 多样化,有2英寸到12英寸不同规格的尺寸都有。现在光刻设备非常的昂贵,每种盘体对 应一种硅片规格,已经不能适应不同规格硅片在同一机台上光刻的需求。在光刻机半导体领域,盘体的功能就是固定硅片,提供硅片表面均衡的受力,满足 硅片的平整度;在光刻的过程中及时散热,不影响光刻的工艺条件。针对不同规格的硅片在 同一机台上刻蚀。要解决的问题是既要有效吸附硅片,满足硅片的刻蚀条件,又能吸附不 同规格的硅片。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多 ...
【技术保护点】
一种多功能真空吸盘,包括盘体、气接头、转动开关、定位件,所述的盘体外圆周上设有径向通向中心的气体通道,所述的气体通道开口处塞有堵头,所述的盘体正面中心设有与气体通道相通的进气孔,所述的进气孔上旋合有气接头,其特征在于:所述的盘体的背面中心设有一安装槽,所述的安装槽的外侧转动安装有数个穿过气体通道的转动开关,所述的转动开关的外侧均设有环形的吸附槽,所述的安装槽、吸附槽底部与气体通道相连通,所述的安装槽、吸附槽外侧环其边缘均设有数个定位件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:项宗齐,陈新宏,王友车,
申请(专利权)人:合肥芯硕半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:34
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