【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种批量制备大纵横比三维微结构的方法，其特征是采用电化学沉积的方法，引入了一种微电极，该微电极是将Ｐｔ－Ｉｒ丝直接插入到玻璃毛细管中制成的，且末端与毛细管端口持平，通过ＣＣＤ监控调整得到阴极基底和阳极微电极之间的３～５ｕｍ初始间隙，将多个微电极的一端并联然后连接步进电机控制微电极Ｚ向移动，步进电机同时控制基底ＸＹ向移动，并通过ＣＣＤ监控使得多个微电极和阴极基底之间的初始间隙保持一致，实现三维微结构的快速批量制备。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。