【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体制造工厂废水处理的综合回收系统，尤其涉及一种利用多 种废水处理手段的废水综合回收利用系统。
技术介绍
现有的大型半导体生产制造型工厂，在整个生产制造流程中，各个工段会需要大 量的工业用水，同时也会产生各种废水，传统的工艺中，均是着眼于对废水进行处理达到排 放标准后进行排放，而没有从经济性的角度对整体用水、回收方案进行全盘考虑，所以造成 了半导体工厂用水量很大，运行成本居高不下，没有体现节约环保型的低碳理念。现就现有的半导体工厂废水回收处理系统进行说明，参见附图1所示，自来水供 应分为两路，第一路进入到前过滤装置101进行初次过滤后进入反渗透处理102工序，经过 反渗透处理后的纯水进入到用水点107供用水点使用；第二路进入到工业用水水箱103，同 时工业用水水箱还存储来自第一路的反渗透处理102后的反渗透浓水，反渗透浓水与自来 水在工业用水水箱103混合后用于工厂设备洗涤塔冲洗用水104以及冷却塔105的冷却用 水，冲洗用水104冲洗后的回收水进入到废水水箱108，然后进行废水处理后达到规定的排 放标准后进行排放。在第一路的水供应中，用水点...
【技术保护点】
一种废水综合回收利用系统，市用自来水一路首先进行前过滤处理，然后进行反渗透处理后进入到用水点供生产用水点使用；市用自来水另一路首先进入工业用水水箱，然后供给洗涤塔冲洗用水以及冷却塔用水，其特征在于： 所述用水点使用后产生的一部分废水进行终端清洗回用处理后再次返回到反渗透处理工序中，所述用水点使用后产生的另一部分废水以及所述冲洗用水、冷却塔用水产生的废水经过废水回收后产生的废水进入到废水水箱中，经过废水回收后产生的回收水返回到工业用水水箱再次利用，废水水箱内的废水经过处理后排放。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐伟权，
申请(专利权)人：富毅特上海环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：31
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