一种气体传感器及其制备方法技术

本发明专利技术属于传感器技术领域，特别是一种气体传感器及其制备方法。包括栅电极、栅绝缘层、源电极和漏电极组成，其特征在于：栅绝缘层上设功能层，源电极和漏电极分别连接于功能层；或者源电极和漏电极分别连接于栅绝缘层，包含两侧源电极、漏电极的部分表面并露出于源电极和漏电极之间的栅绝缘层上形成功能层；栅绝缘层以氟化物为原料。本发明专利技术利用有机半导体材料取代无机半导体材料作为器件的功能层，并采用氟化物作为器件的绝缘层，制备了底栅顶接触和底栅底接触结构的有机薄膜晶体管气体传感器。器件于真空室中蒸镀一次性完成，大大简化了器件的制作工艺，减少了器件的制作周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器
，特别是。
技术介绍
1975年，I. Lundstr5m首先研制出无机气敏场效应管，他在场效应管的绝缘栅上 蒸镀一层钯膜作为栅电极，利用钯材料的催化特性实现对空气中的微量氢气的检测。此后， 有关钯、钼和聚合物等栅MOS场效应型气体传感器的报道相继出现。随着对器件结构参数 和特性研究的深入，无机场效应型气敏传感器的质量有了很大提高。专利ZL961(^646. 4公 开了一种检测二氧化氮的LB膜修饰的悬栅场效应型气体传感器及其制作方法。该专利技术设 计了一种用单分子膜修饰的悬栅场效应型气体传感器，膜修饰于整个管芯，从而达到气体 传感器常温下工作，灵敏度较高、选择性好、可以检测较低浓度气体的目的。尽管传统的无 机MOS场效应型气体传感器灵敏度高，但存在着制作工艺复杂，制作周期长和成本很高等 不利的因素。有机薄膜场效应管作为有机电子的基础，成为越来越多研究机构竞相研究和开发 的对象。有机晶体管由于制备成本低、加工工艺简单、选材范围宽广、机械性能柔软并与大 规模集成电路相兼容等特点，特别适用于低成本、大面积应用的消费类电子产品。在国内外 科学家的努力下，目前有本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种气体传感器，包括栅电极（１）、栅绝缘层（２）、源电极（４）和漏电极（５）组成，其特征在于：栅绝缘层（２）上设功能层（３），源电极（４）和漏电极（５）分别连接于功能层（３）；或者源电极（４）和漏电极（５）分别连接于栅绝缘层（２），包含两侧源电极（４）、漏电极（５）的部分表面并露出于源电极（４）和漏电极（５）之间的栅绝缘层（２）上形成有功能层（３）；栅绝缘层（２）以氟化物为原料，厚度为２００－３５０纳米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于顺洋，许玉云，李琳娜，
申请(专利权)人：烟台海岸带可持续发展研究所，
类型：发明
国别省市：37[中国|山东]