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本发明属于传感器技术领域，特别是一种气体传感器及其制备方法。包括栅电极、栅绝缘层、源电极和漏电极组成，其特征在于：栅绝缘层上设功能层，源电极和漏电极分别连接于功能层；或者源电极和漏电极分别连接于栅绝缘层，包含两侧源电极、漏电极的部分表面并露...
该专利属于烟台海岸带可持续发展研究所所有，仅供学习研究参考，未经过烟台海岸带可持续发展研究所授权不得商用。

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