【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种定位装置,具体涉及一种超高正向负荷对位装置。
技术介绍
目前已经公开的中国台湾专利技术专利"六自由度微/纳米定位平台"(公开号为200608264,公开日为2006年3月1日),提供了一种六自由度微/ 纳米定位平台,包括基座,其两侧设有线性导轨;X轴鞍座,在基座的线性 导轨上滑动,X轴鞍座的两侧设有线性导轨;Y轴鞍座,在X轴鞍座的线性 导轨上滑动;第一驱动装置,与基座的线性导轨垂直安装,并位于基座的 一侧;X轴弹簧回复装置,安装于基座与X轴鞍座之间并位于基座的另一侧; 第一楔形滑块机构,安装于第一驱动装置与X轴鞍座之间,第一驱动装置、 第一楔形滑块机构与X轴弹簧回复装置一起运动,以驱动X轴鞍座在X轴 方向移动;第二驱动装置,与X轴鞍座的线性导轨垂直安装,并位于X轴 鞍座的一侧;Z轴弹簧回复装置,安装于X轴鞍座与Y轴鞍座之间而位于X 轴鞍座的另一侧;第二楔形滑块机构,安装于第二驱动装置与Y轴鞍座之 间,而第二驱动装置、第二楔形滑块机构与Z轴弹簧回复装置一起运动, 以驱动Y轴鞍座在Z轴方向移动;第三驱动装置,安装于Y轴鞍座上,以 驱动并联式机构鞍 ...
【技术保护点】
一种超高正向负荷对位装置,其特征在于,包括: 平台装置,所述平台装置设有底座及动作平台; 三个以上带动装置,所述带动装置设置于底座相对的三角端处,带动装置设马达、螺杆及接合件,马达连接螺杆一端,螺杆另一端穿设于接合件; 三个以上位移装置,所述位移装置设于底座且与带动装置连接,位移装置设配合件、第一滑轨装置、第二滑轨装置及轴承件,配合件固设于带动装置的接合件,配合件近底座设第一滑轨装置,第二滑轨装置设于配合件另一端,第一滑轨装置平行于带动装置,第二滑轨装置垂直于第一滑轨装置,第二滑轨装置的近动作平台处设轴承件,轴承件设于动作平台一端处; 三个以上位移轴承平台,所述位移轴承平台 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:多田真,周琦斌,孙力刷,
申请(专利权)人:大银微系统股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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