一种层流洁净室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种层流洁净室，包括一洁净空间、组合式净化空调器和设置在洁净空间顶部的框架，所述组合式净化空调器的出风口与框架上方的负压空间的顶部连通，组合式净化空调器的进风口与洁净空间外侧的回风通道连通，所述框架上配合布满风机过滤机组。本实用新型专利技术的层流洁净室主要应用于电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中，降低了对框架与高效过滤器的安装要求及框架本身的要求。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种洁净室，具体涉及一种层流洁净室，可应用于电子 工业、精密机械工业、制药工业等髙科技行业中。
技术介绍
洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室，是指在一定空间范围内 将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标以下，并将室 内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静 电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变 化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。现主 要应用于电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中。层流洁净室，是洁净室中的一种，其室内的空气气流运动成一均匀直线 型，其洁净度要求相对其他类型的洁净室更髙。我国1984年年底发布了《洁 净厂房设计规范》(GBJ73-85),其空气洁净度划分等级最髙为100级，是唯 一一种层流洁净室。而随着科技的发展，特别是大规模、超大规模集成电路 工业的发展，洁净度等级100级已不能满足生产的需要。因此，我国在2001 年11月最新发布了《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001),新定义了 Class 5 Class 1级的五种层流洁净室，其中Class5级洁净室即为原来的100级层 流洁净室。新规范指出，Class 5级洁净室每立方米空气中的悬浮粒子中， 0.5U m的不能超过3520颗，0.3 U m的不能超过10200颗，O.lWm的不能 超过1X1()5颗，相应地，洁净度级别越髙，要求每立方米空气中的悬浮粒 子越少。因此，层流洁净室的密封要求是很髙的， 一旦有泄漏，就会对洁净 度产生严重的影响。现有的层流洁净室如附图2所示，在洁净空间1顶部设置框架2，框架 2上满布有高效过滤器7，利用组合式净化空调器3对高效过滤器以上的静 压箱4进行送风，空气经过高效过滤器7过滤后进入洁净空间1，再通过地板上的开孔进入回风通道5,最后一起回收至组合式净化空调器3的进气口 以重新利用，形成气流循环。然而，上述结构的洁净室存在如下问题由于洁净室的空气是利用组合 式净化空调器送入静压箱，通过形成一定的气压以克服髙效过滤器的阻力将 空气压入洁净室内，而髙效过滤器在使用过程中，由于吸附了气流中的微粒， 其阻力会逐渐增大，直至达到设计终阻力后进行更换，因此在组合式净化空 调器的设计过程中，其出风压头必须大于髙效过滤器的终阻力，以保证洁净 室的正常运行；因此，在空调器正常送风时，静压箱中的压力较大， 一般向 下正压保持在500Pa以上，因而一旦框架本身及其与髙效过滤器之间出现缝 隙，静压箱中的空气将不经高效过滤器而直接进入洁净室，严重影响洁净室 的洁净度；因此，现有的洁净室对框架本身及其与髙效过滤器的接触处的密 封要求很髙，这不仅大大提髙了框架的制作成本，也增加了安装高效过滤器 的施工难度。
技术实现思路
本技术目的是提供一种层流洁净室，通过结构改进，降低对框架与 髙效过滤器间的密封要求，以减少制作成本，降低施工难度。 为达到上述目的，本技术采用的技术方案是-一种层流洁净室，包括一洁净空间、组合式净化空调器和设置在洁净空 间顶部的框架，所述组合式净化空调器的出风口与框架上方的负压空间的顶 部连通，组合式净化空调器的进风口与洁净空间外侧的回风通道连通，所述 框架上配合布满风机过滤机组。上文中，所述风机过滤机组，其英文全称为Fan Filter Unit (FFU),是 现有技术；所述在框架上布满FFU,可以是同一型号或不同型号的FFU。进一步的技术方案，所述洁净空间内设置有复数个风速计，其输出经控 制电路连接风机过滤机组的控制装置。 一般情况下，布设在框架上的复数个 FFU是统一控制的，此时，将复数个风速计安装在多个测量点，根据测得的 平均风速值来统一控制FFU的转速，达到保持风速恒定的目的；当然，FFU 也可以实现区域化控制，即可以根据每个区域内的风速计测定值来调节区域FFU的转速，这样效果更好。伹两者的目的都是一样的，即维持整个洁净室 内的气速恒定。上述技术方案中，所述负压空间的侧壁上设有通孔，使负压空间与回风 通道连通。这使得从洁净室出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降 低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。本技术的工作原理是组合式净化空调器的出风口向负压空间送入 空气时，位于框架上的风机过滤机组(FFU)开始工作，由于每个FFU单元都 有一个送风机，送风机的下方具有过滤器，因而FFU不断的将负压空间中 的空气过滤后送入洁净空间内，形成恒定的洁净气流，气流从洁净室地板上 的开孔进入回风通道，在回风通道的顶部， 一部分气流通过负压空间侧壁的 通孔进入负压空间作为进风的一部分，另一部分回收至组合式净化空调器的 进气口以重新利用，形成气流循环。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有的优点是1、 本技术在框架上布满风机过滤机组(FFU),由于每个FFU单元 都有一个送风机，本身具有送风动力，不断的将负压空间中的空气送入洁净 空间内，由于负压空间中的空气处于FFU风机的负压端，因此负压空间中 的气压相对于洁净空间是负压，因此即使框架本身及其与FFU之间出现缝 隙，也不会出现负压空间中空气进入洁净空间的情况，从而保证了洁净空间 的洁净度，也大大降低了对框架与FFU的安装要求及框架本身的要求。2、 由于本技术在洁净空间内设置了风速计，可以根据风速来调节 风机过滤机组的转速，从而维持整个洁净空间的气速恒定，保证洁净室处于 最佳的运转状态。3、 由于本技术在负压空间的侧壁上开设通孔，使负压空间与回风 通道连通，使得从洁净空间出来的回风可以成为进风的一部分，从而大大降 低了组合式净化空调器的输出功率，节约了能源。附图说明图l是本技术实施例一的结构示意图2是
技术介绍
中现有层流洁净室的结构示意图；图3是本技术实施例三中方案(l)的结构示意图； 图4是本技术实施例三中方案(2)的结构示意图。其中1、洁净空间；2、框架；3、组合式净化空调器；4、静压箱；5、 回风通道；6、风机过滤机组；7、髙效过滤器；8、负压空间。具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术作进一步描述-实施例一参见图l所示， 一种层流洁净室，包括一洁净空间l、组合式净化空调 器3和设置在洁净空间顶部的框架2，所述组合式净化空调器3的出风口与 框架上方的负压空间8的顶部连通，组合式净化空调器3的进风口与洁净空 间外侧的回风通道5连通，所述框架2上配合布满风机过滤机组6。上文中，所述风机过滤机组为Fan Filter Unit (FFU)，在框架上布满的 FFU均为同一型号。上述技术方案中，所述洁净空间1内设置有复数个风速计，其输出经控 制电路连接风机过滤机组6的控制装置。 一种情况如果布设在框架上的复 数个FFU是统一控制的，则将复数个风速计安装在多个测量点，根据测得 的平均风速值来统一控制FFU的转速，达到保持风速恒定的目的；第二种 情况如果FFU可以实现区域化控制，则可以根据每个区域内的风速计测 定值来调节区域FFU的转速，这样效果更好。但两者的目的都是一样的， 即维持整个洁净空间内的气速恒定。上述技术方案中，所述负压空间8的侧壁上设有通孔，使负压空间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层流洁净室，包括一洁净空间（１）、组合式净化空调器（３）和设置在洁净空间顶部的框架（２），所述组合式净化空调器（３）的出风口与框架上方的负压空间（８）的顶部连通，组合式净化空调器（３）的进风口与洁净空间外侧的回风通道（５）连通，其特征在于：所述框架（２）上配合布满风机过滤机组（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶荃，姚育才，吴卫国，赵金权，
申请(专利权)人：苏州克林络姆空调系统工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]