陀螺仪的或关于陀螺仪的改进制造技术

一种陀螺仪结构（４１）包括由八个柔性支腿（４４ａ－４４ｈ）从中心毂（４３）支撑的环结构（４２）。主驱动传感器（４５ａ，４５ｂ）和辅助驱动传感器（４６ａ，４６ｂ）全部围绕环结构（４２）的外周边并以与环结构（４２）的外周边间隔开的关系设置以形成电容间隙，并且主采拾传感器（４７ａ，４７ｂ）和辅助采拾传感器（４８ａ，４８ｂ）全部围绕环结构（４２）的内周边并以与环结构（４２）的内周边间隔开的关系设置以形成电容间隙。该陀螺仪结构（４１）包括与环结构（４２）成间隔开的关系以形成电容间隙的十六个电容器板（４９ａ－４９ｐ）。两组电容器板（４９ａ－４９ｄ和４９ｉ－４９ｌ）全部围绕环结构（４２）的内周边设置，而两组电容器板（４９ｅ－４９ｈ和４９ｍ－４９ｐ）全部围绕环结构（４２）的外周边设置。每个电容器板（４９ａ－４９ｐ）设置成产生作用在环结构（４２）上预定的静电力，以局部地调节环结构（４２）的刚度。传感器（４５ａ－４８ｂ）和电容器板（４９ａ－４９ｐ）的定位减少由于温度变化引起的相对于环结构（４２）的电容间隙变化的影响，从而改善陀螺仪结构的标度因子。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及振动结构陀螺仪，该陀螺仪特别但不仅仅适合于用在 利用微电子机械系统技术构造的科里奥利型陀螺仪。
技术介绍
利用微电子机械系统(MEMS)技术制造的科里奥利型陀螺仪现 在广泛地用于各种应用领域。例如，在汽车工业中这种陀螺仪能够用 于先进的制动系统、主动式悬架或滚翻检测和防护应用。用于这些用 途的陀螺仪的性能要求相对不太高，特别是当与陀螺仪用于制导和控 制的常用的航空航天和军事应用相比时。在这种要求苛刻的应用中， MEMS型陀螺仪的使用比较少见，因为就偏移和标度因子稳定性而 言，MEMS型陀螺仪的性能通常是不相适应的。在WO2006006597中所描述的装置是利用MEMS 4支术制造的科 里奥利型陀螺仪的一个例子，并且其构造成满足各种汽车应用的性能 要求。这种装置利用参考WO2006006597的图la和lb (在这里重现 为图la和lb)所描述的con2G振动模式对运行。在运4亍中，这些振 动模式之一被激发为如轴线P表示的主载波模式，其极限如图la的 虛线所示，当陀螺仪绕垂直于构成该陀螺仪的平面硅环的平面的轴线 旋转时产生科里奥利力，该科里奥利力将能量耦合到如轴线S所表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动结构陀螺仪，包括：半导体基片；振动平面环结构；设置成相对于该半导体基片支撑该环结构的支撑装置，该半导体基片、环结构和支撑装置被设置成彼此基本共面；设置成引起该环结构在主模式的共振频率下以主模式方式振荡的至少一个主驱动传感器；设置成检测主模式中环结构的振荡的至少一个主采拾传感器；设置成检测当绕基本垂直于环结构的轴线施加角速度时引起的辅助模式的振荡的至少一个辅助采拾传感器；设置成抵消所述引起的辅助模式振荡的至少一个辅助驱动传感器，该主驱动传感器和辅助驱动传感器以及主采拾传感器和辅助采拾传感器全部绕该环结构的周边设置；以及绕环结构的周边设置的至少两个振荡频率调节电容器板，使得当在至少一个电容...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：CP费尔，
申请(专利权)人：大西洋惯性系统有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]