有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法、液晶显示装置和电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法、液晶显示装置和电子设备。本发明专利技术的有源矩阵基板（３０）具有在绝缘基板（１０）上设置的多个ＴＦＴ元件（２）、和与所述各ＴＦＴ元件（２）电连接的像素电极（７）。所述像素电极（７）包括：第一透明电极层（７ａ）、在所述第一透明电极层（７ａ）上叠层且面积小于该第一透明电极层（７ａ）的反射电极层（７ｂ）、和以至少覆盖所述反射电极层（７ｂ）的方式叠层的第二透明电极层（７ｃ）。由此，能够实现抑制闪烁的发生、显示品质高的半透过型液晶显示装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及液晶显示装置的有源矩阵基板的结构。
技术介绍
作为液晶显示装置的一个方式，提出有具有透过型的功能和反射型的功能的半透过型液晶显示装置。例如，存在如专利文献l、 2中公 开的半透过型液晶显示装置。专利文献1中公开的半透过型液晶显示装置1001，如图22所示， 具有像素电极1003，其在透过型的绝缘基板1002上，以与1个像素的 显示区域的反射区域对应的方式设置有反射电极层1004，并且以覆盖 该反射电极层1004的方式且覆盖1个像素的显示区域的整个区域的方 式叠层有透明电极层1005。此外，专利文献2中公开的半透过型液晶显示装置1101，如图23 所示，具有像素电极1103，其在透过型的绝缘基板1102上，以覆盖l 个像素的显示区域的方式设置有透明电极层1104，进而在该透明电极 层1104上以与1个像素的显示区域的反射区域对应的方式叠层有反射 电极层1105。专利文献l:日本国公开专利公报"特开2003-255378号公报(公 开日2003年09月10日)"专利文献2:日本国公开专利公报"特开2004-191958号公报(公 开日2004年07月08日)"
技术实现思路
但是，在图22所示的半透过型液晶显示装置1001中，以覆盖反 射电极层1004的方式设置透明电极层1005，将该透明电极层1005用 作透明显示电极，所以在上述反射电极层1004上，来自外部的光透过 透明电极层1005到达，反射光透过透明电极层1005射出。通常，透明电极层1005为了维持作为透明显示电极的强度，需要 使膜厚增厚。但是，透明电极层1005的膜厚较厚时，会产生反射电极 层1004的反射率降低的问题。于是，虽然可以考虑使透明电极层1005较薄地形成，但是为了抑 制反射率降低而使透明电极层1005变得太薄时，会产生作为透明显示 电极发生欠缺的问题。此外，图23所示的半透过型液晶显示装置1101中，与图22所示 的半透过型液晶显示装置1001不同，在透明电极层U04上形成有反 射电极层1105，所以该反射电极层1105的反射率不会被该透明电极层 1104的厚度影响。但是，像素电极1103中，透明电极层1104和反射电极层1105与 相对基板上形成的相对电极直接相对，所以材质不同的透明电极层 1104和相对电极之间的功函数、与反射电极层1105和相对电极之间的 功函数之间会产生差异。因该功函数的差异会产生发生闪烁而显示品 质降低的问题、发生液晶的影像残留引起的问题。本申请的专利技术鉴于上述各问题点，其目的在于提供一种能够实现 抑制闪烁发生且显示品质较高的半透过型液晶显示装置的有源矩阵基 板。本专利技术的像素电极，为了解决上述课题，是在具有在透过型的绝 缘基板上设置的多个开关元件、和与上述各开关元件电连接的像素电 极的有源矩阵基板中，特征在于，上述像素电极包括第一透明电极 层；在上述第一透明电极层上至少叠层1部分且面积小于该第一透明 电极层的反射电极层；和以至少覆盖上述反射电极层的方式在上述第 一透明电极层上叠层的第二透明电极层。此外，本专利技术的有源矩阵基板的制造方法，为了解决上述课题， 是具有在透过型的绝缘基板上设置的多个开关元件、和与上述各开关 元件电连接的像素电极的有源矩阵基板的制造方法，其特征在于，包 括在透过型的绝缘基板上形成多个开关元件的第一工序；和形成分 别与绝缘基板上形成的开关元件电连接的像素电极的第二工序，上述 第二工序通过以下工序形成上述像素电极形成第一透明电极层的第 一透明电极形成工序；在上述第一透明电极层上，形成面积小于该第8一透明电极层的反射电极层的反射电极形成工序；以至少覆盖上述反 射电极层的方式，形成第二透明电极层的第二透明电极形成工序。根据上述结构，像素电极是第一透明电极层、反射电极层、第二 透明电极层叠层的结构，进而，因为反射电极层面积小于第一透明电 极层，所以存在反射电极层的区域成为反射区域，不存在反射电极层 的区域成为透过区域。并且，上述第二透明电极层以至少覆盖反射电极层的方式叠层， 所以反射区域是至少第一透明电极层、反射电极层、第二透明电极层 这3层叠层的区域，透过区域是第一透明电极层、第二透明电极层这2 层叠层的区域和仅有第一透明电极层的区域。由此，在像素电极中至少反射区域的表面形成有第二透明电极层， 所以能够使反射区域和透过区域的表面的材质相同。从而，将上述结构的有源矩阵基板用于液晶显示装置的情况下， 能够使该有源矩阵基板的像素电极中的透过区域与反射区域之间对液 晶层施加的电压的差(闪烁电压差)减小。由此，能够抑制因该电压 差较大而产生的闪烁的发生，所以能够实现显示品质的提高。上述第二透明电极层优选层端面与上述第一透明电极层的层端面 一致地形成。该情况下，不会发生因第二透明电极层与第一透明电极层的形成 位置的偏差而产生的寄生电容，所以能够防止寄生电容引起的显示品 质的降低。具有上述结构的像素电极结构的有源矩阵基板，能够通过以下制 造方法制造。本专利技术的有源矩阵基板的制造方法，为了解决上述课题，是具有 在透过型的绝缘基板上设置的多个开关元件、和与上述各开关元件电 连接的像素电极的有源矩阵基板的制造方法，其特征在于，包括在 透过型的绝缘基板上形成多个开关元件的开关元件形成工序；和将分 别与绝缘基板上形成的开关元件电连接的第一透明电极层、在上述第 一透明电极层上叠层且面积小于该第一透明电极层的反射电极层、和 以至少覆盖上述反射电极层的方式叠层的第二透明电极层叠层形成像 素电极的像素电极形成工序，上述像素电极形成工序包括在上述绝缘基板上形成第一透明导电膜的第一透明导电膜形成工序；在上述第 一透明导电膜上形成反射电极膜并对此进行图案形成，形成上述反射 电极层的反射电极层形成工序；以覆盖上述第一透明导电膜上形成的 反射电极层的方式，形成作为上述第二透明电极层的第二透明导电膜 的第二透明导电膜形成工序；和对上述第一透明导电膜和上述第二透 明导电膜一齐进行图案形成，形成上述第一透明电极层和第二透明电 极层的图案形成工序。如上所述，通过具有对上述第一透明导电膜和上述第二透明导电 膜一齐进行图案形成，形成上述第一透明电极层和第二透明电极层的 图案形成工序，由此不需要分别对第一透明电极层和第二透明电极层 进行图案形成处理，所以能够实现制造工序的削减。而且，能够使第一透明电极层和第二透明电极层的对齐误差几乎 消除。此外，上述第二透明电极层优选该第二透明电极层与上述第一透 明电极层的叠层侧相反一侧的层端面与上述反射电极层的层端面一致 地形成。该情况下，不会发生因第二透明电极层与反射电极层的形成位置 的偏差而产生的寄生电容，所以能够防止寄生电容引起的显示品质的 降低。这样的寄生电容，在使用垂直取向模式的液晶的情况下影响较大， 所以如上述结构这样，不会发生寄生电容的结构，特别适用于垂直取 向模式的液晶显示装置。具有上述结构的像素电极结构的有源矩阵基板，能够通过以下制 造方法制造。本专利技术的有源矩阵基板的制造方法，为了解决上述课题，是具有 在透过型的绝缘基板上设置的多个开关元件、和与上述各开关元件电 连接的像素电极的有源矩阵基板的制造方法，其特征在于，包括在 透过型的绝缘基板上形成多个开关元件的开关元件形成工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有源矩阵基板，其具有在透过型的绝缘基板上设置的多个开关元件、和与所述各开关元件电连接的像素电极，其特征在于：　所述像素电极包括：　第一透明电极层；　在所述第一透明电极层上至少叠层一部分且面积小于该第一透明电极层的反射电 极层；和　以至少覆盖所述反射电极层的方式在所述第一透明电极层上叠层的第二透明电极层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田哲生，中田幸伸，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]