观察装置和观察方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种观察装置和观察方法。本发明专利技术的观察装置包括能够部分地拍摄晶圆（１０）的摄像部，利用通过使摄像部的摄像区域相对于晶圆（１０）的圆周方向移动的同时拍摄多个晶圆（１０）（顶端部１３）的部分而得到的、多个摄像区域中的晶圆（１０）的部分图像（Ａ、Ａ、…），进行晶圆（１０）的表面观察，其中，具有：图像连接部，对多个部分图像（Ａ、Ａ、…），分别进行以使与晶圆（１０）的圆周方向对应的方向上的压缩比大于与其垂直的方向的方式进行图像压缩的处理，并且在圆周方向上排列地彼此连接，而使之成为能够在圆周方向上连续识别晶圆（１０）的顶端部（１３）的连接图像（Ｂ）；和图像显示部，显示由图像连接部连接了的连接图像（Ｂ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于对半导体晶圆、液晶玻璃基板等被观察物进行观察的观察装 置和观察方法。
技术介绍
近年来，在半导体晶圆上形成的电路元件图案的集成度变高，并且在半导体制造 工序中晶圆的表面处理所使用的薄膜的种类增加。随之，薄膜的边界部分露出的晶圆的端 部附近的缺陷检查变得重要。若在晶圆的端部附近存在异物等缺陷，则在之后的工序中异 物等会进入晶圆的表面侧而带来不良影响，从而对由晶圆制作的电路元件的成品率产生影 响。因此，提出了以下检查装置(例如参照专利文献1)从多个方向观察半导体晶圆 等形成为圆盘状的被观察物的端面周边(例如顶端及上下的斜面)，检查有无异物、膜的剥 离、膜内的气泡、膜的蔓延等缺陷。在这种检查装置中包括以下结构的装置等利用通过激 光等的照射而产生的散射光检测异物等的结构的装置；通过线传感器将被观察物的图像形 成为带状而检测异物等的结构的装置等。专利文献1 JP特开2004-325389号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题此外，还具有通过图像取得装置局部地逐张取得被观察物的端面周边的图像并根 据多个图像数据检测异物等的结构的装置，但若使用具有能够识别小缺陷的高分辨率的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种观察装置，包括能够部分地拍摄被观察物的摄像部，利用通过使上述摄像部的摄像区域相对于上述被观察物移动的同时拍摄多个上述被观察物的部分而得到的、多个上述摄像区域中的上述被观察物的部分图像，进行上述被观察物的表面观察，其特征在于，具有：图像连接部，对多个上述部分图像，分别进行以使与上述相对移动对应的方向上的压缩比大于与上述相对移动方向垂直的方向的方式进行图像压缩的处理，并且在上述相对移动方向上排列地彼此连接，而使之成为能够在上述相对移动方向上连续识别上述被观察物的部分的连接图像；和图像显示部，显示由上述图像连接部连接了的上述连接图像。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-12-5 2007-314440一种观察装置，包括能够部分地拍摄被观察物的摄像部，利用通过使上述摄像部的摄像区域相对于上述被观察物移动的同时拍摄多个上述被观察物的部分而得到的、多个上述摄像区域中的上述被观察物的部分图像，进行上述被观察物的表面观察，其特征在于，具有图像连接部，对多个上述部分图像，分别进行以使与上述相对移动对应的方向上的压缩比大于与上述相对移动方向垂直的方向的方式进行图像压缩的处理，并且在上述相对移动方向上排列地彼此连接，而使之成为能够在上述相对移动方向上连续识别上述被观察物的部分的连接图像；和图像显示部，显示由上述图像连接部连接了的上述连接图像。2.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，上述图像显示部将上述连接图像分为多个部分进行显示。3.根据权利要求1或2所述的观察装置，其特征在于，具有将上述被观察物保持为能够旋转的旋转保持部，上述旋转保持部将形成为大致圆盘状的上述被观察物的旋转对称轴作为旋转轴，以使 上述被观察物的外周端部相对于上述摄像部的上述摄像区域的相对旋转方向为上述相对 移动方向的方式旋转驱动上述被观察物，上述摄像部从与上述旋转轴正交的方向连续地多次拍摄上述被观察物的外周端部或 外周端部附近，上述图像连接部将与上述连续地多次拍摄而得到的上述被观察物的外周端部或外周 端部附近相关的上述多个上述部分图像分别连接，而使之成为能够在上述相对旋转方向上 连续地识别上述被观察物的外周端部或...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本裕昭，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]