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本发明提供一种观察装置和观察方法。本发明的观察装置包括能够部分地拍摄晶圆（１０）的摄像部，利用通过使摄像部的摄像区域相对于晶圆（１０）的圆周方向移动的同时拍摄多个晶圆（１０）（顶端部１３）的部分而得到的、多个摄像区域中的晶圆（１０）的部分图...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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