划线装置及划线方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种划线装置，其即使在划线装置上设有旋转机构（摇头机构）的情况下，也能够使振动器的振动不衰减地向刀具传递。划线装置具备使刀具（１１）振动的划线头（１２）、使划线头（１２）沿工件着（１７）的表面移动的移动机构（１３）。划线头（１２）具有能够抵接于工件（１７）的表面的刀具（１１）、使刀具（１１）沿与工件（１７）的表面交叉的方向振动的振动器（１９）、与振动器（１９）的振动方向（Ｌ）的端部紧贴且将振动器（１９）的振动向刀具（１１）传递的振动传递部（２２）。振动器（１９）、振动传递部（２２）及刀具（１１）能够以与振动器（１９）的振动方向（Ｌ）平行的轴线为中心一起旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在由玻璃、半导体等脆性材料构成的工件上刻上划线的划 线装置及划线方法。
技术介绍
将由脆性材料构成的薄板状的工件切断时，在工件的表面事先刻上划 线。当沿着划线折弯工件时，表面的裂纹到达里面，工件被折断。作为在工件上刻上划线的划线方法，公知的有将算盘珠状的可旋转的 刀轮向工件的表面按压，并在加压的状态下使刀轮在工件的表面上滚动的 方法以及在使刀轮滚动期间还使刀轮振动的方法。当使刀轮振动时，能够 在工件的表面形成深垂直裂纹，因此，能够实现全切割。 '但是，刀轮在使用期间恶化。刀轮可旋转地保持于支架，在交换刀轮 时，刀轮与支架一起装卸于划线装置的支架安装面。支架安装面(与刀轮 的斜面平行)是否和刀轮行进的方向平行，会对切割品质带来重大的影响。 刀轮相对于刀轮的行进方向倾斜时，向画线中的刀轮施加过度的力，工件 的切割品质恶化。因此，需要使支架安装面相对于刀轮的行进方向高精度 地平行的作业。之后，精度改变也会对切割品质带来不良影响，因此，需 要定期性确认其平行的情况。为了使刀轮的斜面与刀轮的行进方向平行，如图5所示，申请人提案 有安装了使刀轮1在水平面内回旋的旋转机构(摇头机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种划线装置，其是在工件的表面刻上划线的划线装置，其中，　具备：使刀具振动的划线头、使所述划线头沿着工件的表面相对移动的移动机构，　所述划线头具有：能够抵接于工件的表面的刀具、用于使所述刀具沿与工件的表面交叉的方向振动的振动器、 将所述振动器的振动向所述刀具传递的振动传递部，　所述振动器、所述振动传递部及所述刀具能够以与所述振动器的振动方向平行的轴线为中心一起旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-10-5 274456/20061、一种划线装置，其是在工件的表面刻上划线的划线装置，其中，具备使刀具振动的划线头、使所述划线头沿着工件的表面相对移动的移动机构，所述划线头具有能够抵接于工件的表面的刀具、用于使所述刀具沿与工件的表面交叉的方向振动的振动器、将所述振动器的振动向所述刀具传递的振动传递部，所述振动器、所述振动传递部及所述刀具能够以与所述振动器的振动方向平行的轴线为中心一起旋转。2、 如权利要求1所述的划线装置，其特征在于，所述刀具是能够以车轴为中心旋转的刀轮，并且被保持于能够装卸地 安装在所述振动传递部上的支架，在所述振动器、所述振动传递部及所述刀轮围绕所述轴线旋转时，所 述刀轮的所述车轴从所述振动器的所述轴线错开，以使所述刀轮围绕所述 轴线回旋。3、 如权利要求1或2所述的划线装置，其特征在于，所述划线装置还具备驱动所述振动器、所述振动传递部及所述刀具围绕所述轴线旋转的驱 动源；将所述驱动源的转矩向承接所述振动器的、与所述振动传递部接触 的振动器一侧的端部相反侧的端部的承接部传动，并使所述振动器、所述 振动传递部及所述刀具旋转的传动机构。4、 如权利要求1或2所述的划线装置，其特征在于，所述划线头还具有收容所述振动器及所述振动传递部的至少一部分的壳体；引导所述振 动器相对于所述壳体围绕所述轴线旋转的旋转轴承；引导所述振动传递部 相对于所述壳体围绕所述轴线旋转且沿所述轴线的方向往复运动的旋转/ 往复运动轴承。5、 如权利要求1或2所述的划线装置，其特征在于，所述划线头还具有向所述振动器施加预压的预压施加部件；收容所述振动器及所述振动 传递部的至少一部分并且设置所述振动器的内侧壳体；覆盖所述内侧壳体 的外侧壳体；引导所述内侧壳体相对于所述外侧壳体以与所述振动器的振动方向平行的轴线为中心旋转的旋转轴承。6、 一种划线装置，其是在工件上刻上划线的划线装置，其中， 具备使刀具振动的划线头、使所述划线头沿着工件的表面相对移动的移动机构， 所述划线头具有-能够抵接于工件的表面的刀具；用于使所述刀具沿与工件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野京延，三户雅德，女柳信义，羽生明夫，中村雅彦，河野贵哉，肉户善明，
申请(专利权)人：THK株式会社，株式会社贝尔德克斯，
类型：发明
国别省市：JP[日本]