基板输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板处理装置包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的基板暂时存留后输出，该缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的收纳部，并且，在基板盒和输送部之间交接基板。结果，能够抑制输送路径上的基板输送的停止。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种用以输送半导体晶片或平板显示器用玻璃板的基板输送装置。本申请案根据2006年10 月5日于日本申请的日本特愿2006-274360号来要求优先权，此处援 引上述日本特愿2006-274360号的内容。
技术介绍
制造半导体装置的工厂或制造液晶装置、PDP、 EL装置等平板显 示器的工厂等中所设置的基板处理装置中，在由基板输送装置形成的 输送路径上输送半导体晶片或玻璃板等基板，使用既定的基板交接机 构(装栽机或机器人臂等)，在薄膜形成装置、蚀刻装置、测试装置 等各种处理装置和输送路径之间交接基板。上述基板处理装置的情况 是，—般在将基板收纳在能够收纳多张基板的盒内的状态下输送基板 (参照专利文献1 )。近年来，随着液晶电视等平板显示器的大屏化等，基板正在大型 化。因此，收纳基板的盒等也要大型化.重量化，随此，输送速度降 低，从而引起例如在制品(Work in Process)的增多等，难以进行有 效的输送。因此， 一张张地高速输送基板的单张式输送受到关注。 专利文献l:日本特开平9-58844号公报。但是，单张式输送的基板不一定按照输送顺序本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板输送装置，包括：　输送部，单张式输送基板；以及　缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，　将由所述输送部输送的所述基板暂时存留后输出，　所述缓冲部包括：　基板盒，具备能够将多个所述基板收 纳为水平姿势的多层收纳部；以及　基板输入输出部，能够访问任意的所述收纳部，并且，在所述基板盒和所述输送部之间交接所述基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-10-5 274360/20061. 一种基板输送装置，包括输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的所述基板暂时存留后输出，所述缓冲部包括基板盒，具备能够将多个所述基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的所述收纳部，并且，在所述基板盒和所述输送部之间交接所述基板。2. 根据权利要求1所述的基板输送装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田贤辅，水野智夫，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP[日本]