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本发明的基板处理装置包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的基板暂时存留后输出，该缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能...
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