激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光加工装置。所述激光加工装置包括激光共振腔、光学系统、腔室、反射器以及激光束校准单元。所述激光共振腔使激光束产生共振。所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度。经由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上。所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间，以反射所述激光束。所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束。所述激光束校准单元包括：校准单元，所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间，并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中。所述校准单元界定了面积大于所述激光束的横截面的通孔，以使得所述激光束可以穿过所述通孔。所述驱动器驱动所述反射器，以控制经由所述反射器反射的所述激光束的传播路径。所述控制器控制所述驱动器，从而，基于当所述激光束穿过校准单元的通孔时所检测到的所述激光束来控制所述激光束的中心与所述通孔的中心之间的距离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种激光加工装置，更具体地，涉及一种激光加工装置，其具有经改良的构造，使得可以校准辐照在加工物体上的激光束并且便于补偿激光束的重新校准。
技术介绍
一般来说，玻璃衬底被用作有机发光二极管(OLED)和液晶显示器(IXD)的衬底。 玻璃衬底在经历由激光退火装置进行的激光退火处理之后，玻璃衬底是结晶的或者其结晶 度提高，如图1所示。参照图1，传统的激光退火装置100’包括光学系统，所述光学系统包括发射准 分子激光的激光共振腔10’，用于反射激光束的多个反射器，望远镜头(telescopic lens) (未示出)，均束器(homogenizer)(未示出)，场镜(field lens)(未示出)，以及聚光透镜 24，；以及腔室30，，所述腔室30’中放置有玻璃衬底33，。均束器被放置在第二反射器43’ 和第三反射器44’之间。此外，衰减器46’被放置在第一副反射器41’和第一反射器42’之 间。第一副反射器41’被构造为可通过致动器(未示出)直线地移动，并且功率计47’可 以测量激光共振腔10’所发射的激光束。此外，第二副反射器45’被构造为可通过致动器 (未示出)在双侧箭头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置，包括：激光共振腔，所述激光共振腔使激光束产生共振；光学系统，所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度；腔室，在所述腔室中，由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上；反射器，所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间，以反射所述激光束；以及激光束校准单元，所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束，其中，所述激光束校准单元包括：校准单元，所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间，并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中，所述校准单元界定面积大于所述激光束的横截面的通孔，以使得所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2007-11-19 10-2007-0117781一种激光加工装置，包括激光共振腔，所述激光共振腔使激光束产生共振；光学系统，所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度；腔室，在所述腔室中，由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上；反射器，所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间，以反射所述激光束；以及激光束校准单元，所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束，其中，所述激光束校准单元包括校准单元，所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间，并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中，所述校准单元界定面积大于所述激光束的横截面的通孔，以使得所述激光束可以穿过所述通孔；驱动器，所述驱动器驱动所述反射器，以控制经由所述反射器反射的所述激光束的传播路径；以及控制器，所述控制器控制所述驱动器，从而，基于当所述激光束穿过校准单元的通孔时所检测到的所述激光束来控制所述激光束的中心与所述通孔的中心之间的距离。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述控制器控制所述驱动器，以使得所 述激光束的中心穿过所述通孔的中心。3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述激光束校准单元进一步包括第一 传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述校准单元连结，并且 被放置在所述通孔的两侧，以检测入射的激光束，并且当检测到所述激光束时向所述控制 器输出检测信号，所述第一传感器和所述第二传感器之间的距离使得所述激光束可以在所 述第一传感器和所述第二传感器之间穿过，其中，当所述第一传感器检测到所述激光束并且输出所述检测信号时，所述控制器驱 动所述驱动器，直到所述第二传感器输出所述检测信号的时刻，并且所述控制器驱动所述 驱动器，直到所述第一传感器再次输出所述检测信号的时刻，其后，所述控制器在第一参考 时间内输出驱动信号以驱动所述驱动器，以使得所述激光束的中心穿过所述通孔的中心， 所述第一参考时间是基于从所述第二传感器输出所述检测信号的时刻到所述第一传感器 再次输出所述检测信号的时刻所用时间而设置的，并且当所述第一传感器和所述第二传感器都偏离在所述激光束的传播途径以外并且未输 出检测信号时，所述控制器驱动所述驱动器，直到所述第一传感器输出所述检测信号时，并 且所述控制器驱动所述驱动器，直到所述第二传感器输出所述检测信号时，其后，所述控制 器在第二参考时间内输出所述驱动信号以驱动所述驱动器，以使得所述激光束的中心穿过 所述通孔的中心，所述第二参考时间是基于从所述第一传感器输出检测信号的时刻到所述 第二传感器输出检测信号的时刻所用时间而设置的。4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，所述激光束校准单元进一步包括第三 传感器和第四传感器，所述第三传感器和所述第四传感器分别与所述校准单元连结，并且 被放置在所述通孔的相对侧，以与所述第一传感器和所述第二传感器一起相对于所述通孔的中心径向地排列，所述第三传感器和第四传感器检测入射激光束，并且在检测到所述激 光束时向所述控制器输出检测信号，所述第三传感器和所述第四传感器之间的距离使得所 述激光束可以在所述第三传感器和所述第四传感器之间穿过，其中，当所述第三传感器检测到所述激光束并且输出所述检测信号时，所述控制器驱 动所述驱动器，直到所述第四传...

【专利技术属性】
技术研发人员：金贤中，金大镇，严升焕，李光在，
申请(专利权)人：科尼克系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]