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本发明公开一种激光加工装置。所述激光加工装置包括激光共振腔、光学系统、腔室、反射器以及激光束校准单元。所述激光共振腔使激光束产生共振。所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度。经由所述光学...
该专利属于科尼克系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科尼克系统股份有限公司授权不得商用。

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