图案形成装置、利用其制造的设备及具有该设备的电子设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的在于提供一种图案形成装置，其可灵活对应量少品种多的生产，且容易将光滑、无缺陷的图案形成在所希望的位置上，在图案形成装置（１５５）上设置：液体材料涂布机构（１１０），在基板（１００）上涂布液体材料（１３０）；和激光处理机构（１２０），向基板（１００）上涂布的液体材料照射激光（１２１）使其固定化；并且液体材料涂布机构（１１０）中设有液体材料供给部（１１３），液体材料供给部（１１３）上形成有通过液体材料（１３０）与基板（１００）接触的开口部（１１４），在激光处理机构中设有将激光照射到照射目标点（１３１）的照射部，从液体材料供给部（１１３）的开口部向基板（１００）涂布液体材料，将该基板（１００）上涂布的液体材料通过由照射部照射的激光逐次处理、固定化。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到一种使用可构成电子设备的功能性液体材料等在固体表面形成图案的图案形成装置、及具有通过上述图案形成装置形成的图案的设备、及具有该设备的电子设备。
技术介绍
针对利用真空处理、照相平板印刷法等细微加工技术在硅晶片上形成集成电路的现有的功能元件制造方法，提出了很多如下提案基于组合了有机材料的溶液、无机材料的胶溶液等液体材料和印刷技术的全新材料、处理的所谓印刷电子学来制造功能元件。作为印刷电子学中使用的印刷技术，向纸面印刷的方式是候选之一，但大多研究基于喷墨方式来进行。喷墨方式是作为家庭用小型打印机的印刷方法发展而来的技术，根据从计算机、数码相机等传送来的电子数据，在纸面上使微小喷嘴扫描，并由该微小喷嘴排出油墨进行描绘。这与印刷书籍、杂志报纸等一般的使用原版并以其为基础进行大量复制的方式大为不同。使用原版的印刷方式是非常适于报纸这样的高速、大量制造同一产品的方式，但在少量印刷时，也需要和大量印刷同样的原版，并且只能制造和原版完全一样的产品。与之相对，喷墨方式是不使用原版、印刷的元信息可简单改变的单一的电子数据。因此，在制作多种印刷物时，是非常有效的方法。这相当于一般家庭中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成装置，将基板上涂布的液体材料通过激光固定化并形成图案，其特征在于，具有：　液体材料涂布机构，设有向基板涂布液体材料的开口部；以及激光处理机构，上述液体材料涂布机构和上述激光处理机构一体化，具有照射将上述基板上涂布的上述液体 材料固定化的激光的照射部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：八浪龙一，宫西哲，能登原康裕，田中久裕，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP[日本]