检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度（Ｅ、Ｆ）来进行检测的方法，该亮度（Ｅ、Ｆ）是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体（１）内部的微小异物（４）进行照射的光束（２）的散射等而产生的，其特征在于，使光束（２）相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束（Ｉ）和由该内部光束（Ｉ）在透明板体表面反射而成的内部光束（ＩＩ），不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动（沿（Ｇ）方向），从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物（４）由上述内部光束（Ｉ）照射而产生的亮点（Ｅ）和由上述内部光束（ＩＩ）照射而产生的亮点（Ｆ），从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检测玻璃板等透明板体的内部的微小异物的方法及其装置，更具体地涉及检测玻璃板内部的硫化镍等微小异物的方法及其装置。此外，本专利技术涉及包括基于检 测玻璃板内部的微小异物的方法的工序的玻璃板制造方法。
技术介绍
玻璃制品内部的微小异物主要是透过光的透光性的泡和遮挡光的未溶解的原料、 混入到玻璃中的粒子等，成为玻璃制品的缺点，降低成品率。通过在加热玻璃后使其骤冷对 表面导入压縮应力的所谓物理强化法强化玻璃制品时，在具有键合镍和硫磺而成的硫化镍 (以下称为NiS)的情况下，特别成问题。 关于强化玻璃制品的NiS的问题，从19世纪60年代以来的研究中到处可见，例如 专利文献1中有所公开。由于NiS在玻璃中受到的温度过程而其构造相从a -NiS转移为 P-NiS。此时，由于P-NiS的体积变大，所以在如玻璃内部那样NiS四周被拘束的情况下， 导致在该被拘束的部分产生拉伸应力。另一方面，在通过物理强化法强化的强化玻璃制品 内部，为了使玻璃制品整体的残余应力平衡，相对于残留在玻璃制品表面的压縮应力，在玻 璃制品内部残余有拉伸应力。在该内部的拉伸应力层中存在大小为0. 05mm左右的N本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测透明板体内部的微小异物的方法，是通过检测亮点进行检测的方法，该亮点是由于照射了存在于透明板体内部的微小异物的光束的散射等而产生的，该透明板体具有均匀的折射率且具有恒定的厚度，其特征在于，使光束相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束Ⅰ和由该内部光束Ⅰ在透明板体表面反射而成的内部光束Ⅱ，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物由上述内部光束Ⅰ照射而产生的亮点和由上述内部光束Ⅱ照射而产生的亮点，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-9-4 2007-229468一种检测透明板体内部的微小异物的方法，是通过检测亮点进行检测的方法，该亮点是由于照射了存在于透明板体内部的微小异物的光束的散射等而产生的，该透明板体具有均匀的折射率且具有恒定的厚度，其特征在于，使光束相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束I和由该内部光束I在透明板体表面反射而成的内部光束II，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物由上述内部光束I照射而产生的亮点和由上述内部光束II照射而产生的亮点，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。2. 根据权利要求1所述的方法，光束是在透明板体表面形成沿与该光束的光轴垂直的 方向延伸的线状的照射区域的光束。3. 根据权利要求1或2所述的方法，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束 相对移动的方向是与透明板体表面平行的方向。4. 根据权利要求3所述的方法，光束是在透明板体表面形成沿与该光束的光轴垂直的 方向延伸的线状的照射区域的光束，上述移动方向是与上述线状的照射区域的该线的延伸 方向大致垂直的方向。5. 根据权利要求1 4任一项所述的方法，通过对比上述2个亮点的光强度，进一步判 断微小异物的种类。6. 根据权利要求1 5任一项所述的方法，具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体 是玻璃板。7. —种检测玻璃板内部的微小异物的方法，是通过检测亮点进行检测的方法，该亮点 是由于照射了存在于玻璃板内部的微小异物的光束的散射等而产生的，其特征在于，使用检测装置不改变光束的进入角度地使玻璃板的光束照射位置移动，利用摄像部件 拍摄同一微小异物由内部光束I照射而产生的亮点和由内部光束II照射而产生的亮点，用 图像处理部件基于由上述摄像部件拍摄的图像判断上述微小异物在玻璃板中的位置，该检测装置包括照射部件，使光束相对于玻璃板的厚度方向以规定的倾斜角度进入到玻璃板内部，在 玻璃板内部形成进入的上述内部光束I和由该内部光束I在玻璃板表面反射而成的上述内 部光束II ;摄像部件，在玻璃板的光束照射表面侧或非照射表面侧拍摄自玻璃板表面沿与该表面 垂直的方向射出的光；图像处理部件，基于由上述摄像部件拍摄的图像判断玻璃板内部的微小异物的位置。8. —种检测玻璃板内部的微小异物的方法，是通过检测亮点进行检测的方法，该亮点 是由于照射了存在于玻璃板内部的微小异物的光束的散射等而产生的，其特征在于，使用检测装置不改变第1和第2光束的进入角度地使玻璃板的光束照射位置移动，利 用摄像部件拍摄同一异物由内部光束I和I'照射而产生的亮点和由内部光束II和II'照 射而产生的亮点，由图像处理部件基于由上述摄像部件拍摄的图像，根据由上述第1光束 和第2光束产生的同一异物的亮点的图像的对称性判别玻璃板表面的灰尘等异物，并判断 上述微小异物在玻璃板中的位置，该检测装置包括第1照射部件，使第1光束相对于玻璃板的厚度方向以规定的倾斜角度进入到玻璃板 内部，在玻璃板内部形成进入的上述内部光束I和由该内部光束I在玻璃板表面反射而成 的上述内部光束II ;第2照射部件，使第2光束相对于玻璃板的厚度方向自与上述第1光束的倾斜角度相反的方向进入到玻璃板内部，在玻璃板内部形成进入的上述内部光束I'和由该内部光束I'在玻璃板表面反射而成的上述内部光束II';摄像部件，在玻璃板的光束照射表面侧或非照射表面侧拍摄自玻璃板表面沿与该表面垂直的方向射出的光；图像处理部件，基于由上述摄像部件所拍摄的图像，判别玻璃板内部的微小异物和玻 璃板表面的灰尘等异物，并判断玻璃板内部的微小异物的位置。9. 根据权利要求7或8所述的方法，不改变上述光束的进入角度地使玻璃板的光束照 射位置移动的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：大音仁昭，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]