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本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度（Ｅ、Ｆ）来进行检测的方法，该亮度（Ｅ、Ｆ）是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体（１...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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