一种平板探测器件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平板探测器件，包含前基板，后基板，及气密封于前后基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板，所述的前基板包括前衬底玻璃板、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组和在前衬底玻璃下表面蒸镀的薄膜，所述的后基板包括后衬底玻璃板、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组和在后衬底玻璃上表面蒸镀的薄膜；在网格阵列板上涂覆有一层闪烁体材料。该探测器的结构和工艺简单，对辐射和磁场不敏感，因此对工作环境的要求不高，且成本低廉，是一种前景很好的Ｘ射线平板探测器。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及X射线探测领域，特别是一种应用于X射线探测的平板探测器，尤 其涉及一种利用网格孔阵列板构成的平板装置进行X射线探测。
技术介绍
X射线检测是发展医学影像、工业无损探伤、航空、航天以及工业设备制造技术中 不可缺少的检测手段。自1987年Papin PJ首次报道可进行直接数字化摄影的平板探测 器的研究后，探索各种不同类型、不同种类、不同工作机制的平板探测器成为近年来数字化 X射线摄影技术的研究热点。目前数字化X射线摄影技术采用的探测器主要有电荷耦合器 件探测器(Charge coupled device, CCD)系统、直接转换式TFT平板探测器和间接转换式 TFT平板探测器。就现行技术而言，CCD探测器仅仅是一项过渡技术，基于TFT的直接转换 和间接转换式平板探测器是具有明显的优势。由于制作过程复杂，大面积使用非晶硒或非 晶硅材料造价昂贵使得只有极少数医院能够采用X射线数字摄影技术。与屏片系统相比， 基于平板探测器的DR系统具有更高的量子检测效率。目前临床应用的FPD主要有以非晶 硒(a:SE)平板探测器为代表的直接转换型和以非晶硅(a:S i+Cs I)为代表的间接转换型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板探测器件，其特征在于：包含前基板，后基板，及气密封于前后基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板（４），所述的前基板包括前衬底玻璃板（７）、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组（８）和在前衬底玻璃下表面蒸镀的薄膜（６），所述的后基板包括后衬底玻璃板（２）、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组（１）和在后衬底玻璃上表面蒸镀的薄膜（３）；在网格阵列板（４）上涂覆有一层闪烁体（５）材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兰兰，屠彦，张雄，李青，王保平，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：84[]