【技术实现步骤摘要】
本技术有关于一种冷却设备，尤指一种应用于冷却多部具高温制程负载机台 的设备，使各部机台设备上的冷却装置可于进水及出水时，流量及水压可平均分配，使其达 到良好的冷却降温效果的冷却设备的均压配管装置。
技术介绍
在工业上，许多机台具备高温制程，因此需于高温制程后进行冷却降温，一般而 言，大多是于机台内设置一热交换器，并以一冷却设备并利用管路配置来连通各热交换器， 通过水介质流入各热交换器中，以进行热交换作用，供机台进行冷却降温。如图1所示，一冷却设备1连接相互连通的一出水管2及一进水管3，该出水管2 及进水管3间设有数个热交换器4，其中，出水管2与进水管3，以及该热交换器4的配置与 排列方式是会随机台位置而有所不同；该出水管2上设有一泵5，以使冷却设备1内部循环 水6经出水管2排出，并依序流入各热交换器4中进行热交换，借助循环水6带走热交换器 4中的热能，当热交换产生后，使得机台温度降低，而循环水6则温度升高，并将回到冷却设 备1中经由蒸发部份水量而进行散热冷却，以备重复进行上述的循环。借助循环水6的持续流动，该出水管2与该等热交换器4 (如图中4a、4b、4c、4...
【技术保护点】
一种冷却设备的均压配管装置，该配管装置设于一个冷却设备及数个冷却装置间，该等冷却装置分别设于一个具高温制程负载的机台内，借该冷却设备内的循环水于该冷却设备及该冷却装置间进行热交换；其特征在于： 该配管装置包含相连通的一个出水管及一个进水管，以分别连接于各冷却装置的进水口及出水口，该出水管及该进水管间至少设有一个泵，该出水管与该等冷却装置及进水管间形成数个水流路径，各水流路径的距离相等；借此，循环水于各水流路径上的水压为平均分布。
【技术特征摘要】
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