可挠式显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种可挠式显示装置的制造方法，其是先提供刚性基板，接着在刚性基板上形成牺牲层，再接着在牺牲层上形成元件层，然后用气体蚀刻牺牲层，以气化牺牲层而使元件层与刚性基板相分离，之后将元件层与软性基板贴合。由于用以蚀刻牺牲层的气体与牺牲层反应后，所生成的产物均为气体，因此透过抽气的方式即可将这些气体产物移除，以简化工艺，进而降低可挠式显示装置的工艺的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种显示装置的制造方法，特别是涉及一种。
技术介绍
近年来，随着科技的进步与社会的发展，显示装置于各种电子产品中的使用已 越来越广泛。而且，随着电子产品轻薄短小且易于携带的发展趋势，市场上更出现了具 有可挠性的显示装置。在上述可挠式显示装置的工艺中，由于塑胶基板的玻璃化转变温度(Tg)较低、 热膨胀系数较大以及机台无法承载塑胶软性基板等原因，可挠式显示装置的内部元件一 般无法直接形成在塑胶软性基板上。因此，现有习知制作上述可挠式显示装置的方法一 般是先在玻璃基板上完成这些元件的工艺，接着将这些元件与玻璃基板分离，然后再使 这些元件与塑胶基板相贴合。然而，现有习知分离元件与玻璃基板的方法通常是采用激光照射来进行的，此 过程要求玻璃基板具有较高的洁净度且激光需被精确控制，因此容易造成上述可挠式显 示装置的工艺过于复杂。因此，如何改善可挠式显示装置的工艺，以简化可挠式显示装置工艺并降低其 成本，实为相关领域的人员所重视的议题之一。由此可见，上述现有的在结构、制造方法与使用 上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相 关厂商莫不费尽心思来谋求本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可挠式显示装置的制造方法，其特征在于其包括：提供一刚性基板；在该刚性基板上形成一牺牲层；在该牺牲层上形成一元件层；用一气体蚀刻该牺牲层，以气化该牺牲层而使该元件层与该刚性基板相分离；以及将该元件层与一软性基板贴合。

【技术特征摘要】
1.一种可挠式显示装置的制造方法，其特征在于其包括提供一刚性基板；在该刚性基板上形成一牺牲层；在该牺牲层上形成一元件层；用一气体蚀刻该牺牲层，以气化该牺牲层而使该元件层与该刚性基板相分离；以及将该元件层与一软性基板贴合。2.根据权利要求1所述的可挠式显示装置的制造方法，其特征在于其中形成该元件层 的方法包括在该牺牲层上形成一绝缘层；在该绝缘层上形成一薄膜晶体管阵列；以及在该薄膜晶体管阵列上形成一显示介质层。3.根据权利要求2所述的可挠式显示装置的制造方法，其特征在于其中在该牺牲层 上形成该元件层之前，更包括在该牺牲层上形成一支撑层，而该元件层形成于该支撑层 上。4.根据权利要求2所述的可挠式显示装置的制造方法，其特征在于其中在以该气体蚀 刻该牺牲层前，更包括在该元件层上形成一暂时固定层。5.根据权利要求4所述的可挠式显示装置的制造方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈礼廷，萧博文，庄凯丞，辛哲宏，
申请(专利权)人：元太科技工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]