【技术实现步骤摘要】
本技术属光电
技术介绍
作为对激光全息照相技术在防伪技术中的补充，上世纪九十年代专利技术了数控点阵 式激光全息光刻技术。它的问世极大地丰富了激光全息技术在防伪技术中的内涵，同时大 大地降低了人的劳动强度和该技术对操作人员的个人技术的依赖程度，为该技术的普及、 推广和应用起了重要作用。尽管其反作用使得防伪力度有所降低，但它的技术含量和能产 生动感的艺术表现力，吸引人们将它推广到其它领域。所谓“全息光刻”，是因为它所刻出来 的光点中还蕴臧着极其细密的全息光栅。在激光全息光刻机中，最重要的部件就是全息光 刻镜头，它由分光镜、合光镜和聚光镜等组成。现有的全息光刻机，其分光镜多数是用衍射 光栅进行分光的，而合光镜和聚光镜则由大数值孔径的照相物镜兼用。用这种镜头形成的 含有全息光栅的聚焦光点在工作时是固定不动的，而是让位于聚焦光点中的记录介质横向 做作二维运动。做分光用的光栅片必要时能转动或平移(但聚焦光点仍不会动)。用这种 方式进行全息光刻，由于要记录的是点中的非常密集的全息光栅，因此其刻速受到很大限 制，一般只能达到10个点/秒。本专利申请者在专利号为022373748的专利中提出二维扫 描法，它虽然能使刻速提高成百倍；但在该专利中仍是以光栅做分光镜进行阐述的，虽然含 有全息光栅的聚焦光点能做二维扫描运动，但其致命缺点是将大图进行分割成宏块，每个 单元宏块不能太大，且拼接后宏块之间可能会出现微小的色差，即存在光学拼缝，影响所刻 图像的质量。
技术实现思路
本技术为一种可用于二维扫描方式进行激光全息光刻的镜头；依次由光束预 处理器、x-y扫描镜、柱面镜、f...
【技术保护点】
一种可用于二维扫描方式进行激光全息光刻的镜头；依次由光束预处理器、ｘ－ｙ扫描镜、柱面镜、ｆ－θ透镜、分光镜、全反镜组成；其特征是：光束预处理器与ｘ－ｙ扫描镜之后的柱面镜相匹配，用于改变光束中能量的径向分布，ｘ－ｙ扫描镜中心分别位于由柱面镜和ｆ－θ透镜组合而成的像散系统的各自前焦点处，分光镜紧挨ｆ－θ透镜之后，全反镜使两光束相交于ｆ－θ透镜的后焦点处，记录介质也位于后焦点处。
【技术特征摘要】
一种可用于二维扫描方式进行激光全息光刻的镜头；依次由光束预处理器、x y扫描镜、柱面镜、f θ透镜、分光镜、全反镜组成；其特征是光束预处理器与x y扫描镜之后的柱面镜相匹配，用于改变光束...
【专利技术属性】
技术研发人员：易晗，易联招，
申请(专利权)人：易联招，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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