ＴＦＴ－ＬＣＤ制造药液槽及其设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种ＴＦＴ－ＬＣＤ制造药液槽及其设备，涉及液晶显示技术领域，能够提高检测液位实际量的能力，并有效降低液位检测传感器的误报警，提高设备驾动率。ＴＦＴ－ＬＣＤ制造药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检测管道，所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。设备包括：储液箱和药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检测管道，所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。本实用新型专利技术应用于液晶显示装置的生产制造。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种TFT-IXD制造药液槽及其设备。
技术介绍
近年来，薄膜晶体管液晶显示装置(Thin Film transistor liquid crystal display，简称TFT IXD)产品发展十分迅猛，越来越多高品质的薄膜晶体管液晶显示器逐渐 上市，其应用领域也不断拓宽。目前TFT-IXD制造药液槽中的液位高度一般采用安装在与药液槽相联通的检测 管道上的光感传感器进行检测(光感传感器由一发射器和一接收器组成，发射器用来发生 一定强度的光束，接收器用来接收发射器发出的光强，预先为接受器光强设定一阀值，当接 受器接收到的光强小于设定的阀值时认为检出)，当药液液面到达光感传感器位置时，液面 会对发生器发出的光强产生阻挡从而使接收光强变小，既而检出。专利技术人在实现本技术的技术方案时发现，现有技术的TFT-LCD制造药液槽及 其设备至少存在以下缺陷由于设备的药液槽中的药液在高温加热、循环机泵、药液槽回流 的作用下会产生大量气泡，该气泡会顺着检测管道向上运动，进而使药液槽的水位检测中 不该检出的传感器也为检出状态，导致设备报警，严重影响设备驾动率
技术实现思路
，本技术所要解决的技术问题在于提供一种TFT-LCD制造药液槽及其设备，能 够提高检测液位实际量的能力，并有效降低液位检测传感器的误报警，提高设备驾动率。为解决上述技术问题，本技术TFT-LCD制造药液槽及其设备采用如下技术方 案一种TFT-IXD制造药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检测管道， 所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。所述液位检测传感器包括自上而下顺序设置的溢出报警传感器、供给完成传感 器、补给完成传感器、补给开始传感器、泵机启动传感器和泵机保护传感器。所述液位检测传感器为光感传感器。所述去气泡装置包括浮漂装置，所述浮漂装置的密度小于所述药液槽内盛放的 药液的密度。所述浮漂装置的高度大于所述检测管道底部与所述药液槽底部的距离。所述浮漂装置包括浮漂顶部和浮漂底部，所述浮漂顶部为圆柱体或棱柱体；所 述浮漂底部为圆柱体、棱柱体或圆锥体。所述浮漂顶部的尺寸大于所述浮漂底部的尺寸，所述浮漂顶部的尺寸略小于所述 检测管道的内径尺寸。所述去气泡装置还包括设置在所述检测管道上侧的空气吹嘴。所述空气吹嘴包括设置在与所述药液槽连接处的吹嘴和与外部动力空气供给管 道相连接的供气管道。一种TFT-IXD制造设备，包括储液箱和药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽 相连通的检测管道，所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。 本技术提供的TFT-LCD制造药液槽及其设备通过在检测管道内设置去气泡 装置以及数个液位检测传感器，提高了检测液位实际量的能力，使检测更加安全可靠，有效 降低液位检测中误报警的发生，提高设备驾动率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新 型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根 据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例TFT-IXD制造药液槽的结构示意图；图2为本技术实施例TFT-IXD制造设备的结构示意图；图3为图2中虚线部分的局部放大示意图；图4为本技术漂浮装置的结构示意图。附图标记说明1-药液槽；11-排放管道； 12-药液供给管道；13-溢出管道；2-检测管道； 3-液位检测传感器；4-储液箱； 41-供给管道； 42-回流管道；5-浮漂装置； 51-浮漂顶部； 52-浮漂底部；6-空气吹嘴； 61-吹嘴；62-供气管道。具体实施方式本技术实施例提供一种TFT-LCD制造药液槽及其设备，能够提高检测液位实 际量的能力，并有效降低液位检测传感器的误报警，提高设备驾动率。以下结合附图对本技术实施例TFT-LCD制造药液槽及其设备进行详细描述。实施例一本技术实施例提供一种TFT-IXD制造药液槽，如图1所示，所述药液槽1设置 有与所述药液槽1相连通的检测管道2，所述检测管道2内设置有液位检测传感器3和去气 泡装置。由于检测管道2与药液槽1相连通，因此，检测管道2与药液槽1内的药液的液 位相同，设置液位检测传感器实现换药液设置、小量补给设置、溢出以及泵机保护的报警指 示；去气泡装置能够有效地去除检测管道2内产生的气泡，防止液位检测传感器误报警。本技术实施例提供一种TFT-IXD制造设备，如图2所示，该设备包括储液箱 4和药液槽1，所述药液槽1设置有与所述药液槽1相连通的检测管道2，所述检测管道2内 设置有液位检测传感器3和去气泡装置。由于检测管道2与药液槽1相连通，因此，检测管道2与药液槽1内的药液的液位相同，设置液位检测传感器实现换药液设置、小量补给设置、溢出以及泵机保护的报警指 示；去气泡装置能够有效地去除检测管道2内产生的气泡，防止液位检测传感器误报警。本技术实施例提供的TFT-IXD制造药液槽及其设备通过在检测管道内设置 去气泡装置以及数个液位检测传感器，提高了检测液位实际量的能力，使检测更加安全可 靠，有效降低液位检测中误报警的发生，提高设备驾动率。实施例二在实施例一的基础上，进一步地，如图2所示，本实施例提供的TFT-IXD制造药液 槽及其设备的液位检测传感器包括自上而下顺序设置的溢出报警传感器(H)、供给完成 传感器(M)、补给完成传感器(S2)、补给开始传感器(Si)、泵机启动传感器(P)和泵机保护 传感器(L)。设备药液槽1中的药液一般都处于高温，循环的状态中，药液槽1的供给泵机不断 地将药液槽1中的药液通过储液箱4的供给管道41抽送到储液箱4中，通过特定的喷洒器 喷射到玻璃基板表面，从而起到清洗、玻璃、刻蚀等作用，储液箱4底部设置有回流管道42， 通过回流管道42喷射出的药液能顺利的回流到药液槽1中再次使用。下面通过TFT-IXD制造药液槽及其设备的功能和设定说明本实施例的技术方案。换药液设置首先，根据特定的工艺参数(例如运行的玻璃基板的片数、药液使用 的时间)来决定何时更换药液。当进行药液更换时，药液会从排放管道11排空，直至泵机 保护传感器(L)灯灭之后若干分钟(该时间可以根据具体情况任意设定)排放管道11的 阀门关闭，排药液完成(泵机保护传感器(L)为药液槽最低液位显示)。此后。从药液供给 管道12供给新的药液开始注入药液槽1，直至供给完成传感器(M)灯亮为止(供给完成传 感器(M)为药液槽供给完成显示)。小量补给设置当设备运行时，由于玻璃基板的携带以及储液箱4的抽真空(药液 的挥发)，导致药液槽1中的药液量有一定的减少，这种情况下药液槽1中的药液要适时进 行小量添加，因此设置补给开始传感器(Si)位置为小量补给开始点，在设备运行中，当药 液槽1中药液的高度低于补给开始传感器(Si)时，药液供给管道12的阀门就会打开，开始 对药液槽1添加药液。当药液槽1中的药液高度达到补给完成传感器(S2)的高度时停止 补给(补给完成传感器(S2)为小量补给完成点)，小量补给完成。溢出报警当药液槽1中的药液超出溢出报警传感器(H)时，设备就会报本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＴＦＴ－ＬＣＤ制造药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检测管道，其特征在于，所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。

【技术特征摘要】
一种TFT-LCD制造药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检测管道，其特征在于，所述检测管道内设置有液位检测传感器和去气泡装置。2.根据权利要求1所述的药液槽，其特征在于，所述液位检测传感器包括自上而下顺 序设置的溢出报警传感器、供给完成传感器、补给完成传感器、补给开始传感器、泵机启动 传感器和泵机保护传感器。3.根据权利要求1或2所述的药液槽，其特征在于，所述液位检测传感器为光感传感器4.根据权利要求1所述的药液槽，其特征在于，所述去气泡装置包括浮漂装置，所述 浮漂装置的密度小于所述药液槽内盛放的药液的密度。5.根据权利要求4所述的药液槽，其特征在于，所述浮漂装置的高度大于所述检测管 道底部与所述药液槽底部的距离。6.根据权利要求5所述的药液槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴健，章志兴，张宇昊，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]