透镜、透镜阵列、透镜评价装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及透镜、透镜阵列、透镜评价装置。本发明专利技术的透镜是通过对一般的球面透镜付与基于了预定的非球面系数的非球面量而形成的。非球面量用以对光学面付与相对球面透镜的形状呈小于０．０５μｍ的误差，上述非球面量还用以对周围部分付与相对球面透镜的形状呈大于０．５μｍ的误差。由此能够根据形状的测定结果，把透镜作为球面透镜来评价。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，能作为球面透镜来使用的透镜、形成有多个该透镜的透镜阵列、以及 该透镜的评价装置。
技术介绍
关于透镜的形状测定(评价)，一般使用接触式或非接触式的3维形状测定器。该 些测定器能够得出作为对象物的透镜的、3维形状数据集合(profile)。对于透镜，需求取其相对于设计式的形状误差。例如，在专利文献1中揭示了一种 根据非球面透镜相对其设计式的误差，来得出非球面透镜的形状的技术。专利文献1 日本国专利申请公开公报，“特开平3-33635号公报”;1991年2月13 日公开。专利文献2 日本国专利申请公开公报，“特开2009-018578号公报” ；2009年1月 29日公开。专利文献3 日本国专利申请公开公报，“特开2009-023353号公报” ；2009年2月5日公开。
技术实现思路
然而，在专利文献1中，关于球面透镜的形状测定，存在以下的问题。S卩，当球面透镜相对于测定系统(透镜评价装置)倾斜时，在测定领域内不会因该 倾斜而发生形状误差。因此，在专利文献1的技术中，当球面透镜相对于测定系统倾斜时， 很难根据透镜形状的测定结果来对倾斜量进行评价或进行校正。另外，透镜一般具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透镜，其特征在于：通过向一体形成有光学面、该光学面的周围部分、包围该周围部分的端缘的球面透镜预先付与基于了预定的非球面系数的非球面量，而形成该透镜，上述非球面量用以对上述光学面付与相对上述球面透镜的形状呈小于０．０５μｍ的误差，上述非球面量还用以对上述周围部分付与相对上述球面透镜的形状呈大于０．５μｍ的误差。

【技术特征摘要】
JP 2009-10-15 2009-2386391.一种透镜，其特征在于通过向一体形成有光学面、该光学面的周围部分、包围该周围部分的端缘的球面透镜 预先付与基于了预定的非球面系数的非球面量，而形成该透镜，上述非球面量用以对上述光学面付与相对上述球面透镜的形状呈小于0. 05 μ m的误差，上述非球面量还用以对上述周围部分付与相对上述球面透镜的形状呈大于0. 5 μ m的误差。2.一种透镜评价装置，用以对透镜进行评价，其特征在于上述透镜是通过向一体形成有光学面、该光学面的周围部分、包围该周围部分的端缘 的球面透镜预先付与基于了预定的非球面系数的非球面量而形成的，上述非球面量用以对上述光学面付与相对上述球面透镜的形状呈小于0. 05 μ m的误差，上述非球面量还用以对上述周围部分付与相对上述球面透镜的形状呈大于0. 5μπι的误差，该透镜评价装置具备，形状测定部，对上述透镜的，光学面的形状及周围部分的形状进行测定； 形状评价部，根据上述形状测定部的测定结果以及用上述非球面系数来计算上述非球 面量时所需的非球面式，对上述透镜的形状进行评价。3.—种透镜阵列，其特征在于 形成有多个透镜；上述透镜是通过向一体形成有光学面、该光学面的周围部分、包围该周围部分的端缘 的球面透镜预先付与基于了预定的非球面系数的非球面量而形成的，上述非球面量用以对上述光学面付与相对上述球面透镜的形状呈小于0. 05 μ m的误差，上述非球面量还用以对上述周围部分付与相对上述球面透镜的形状呈大于0. 5 μ m的误差。4.根据权利要求2所述的透镜评价装置，其特征在于具备高度测定部，该高度测定部对以上述端缘为起点的，上述光学面的顶点高度进行 测定。5.一种透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：重光学道，花户宏之，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]