一种高导热性和低应变的光学多层膜制造技术

本发明专利技术公开一种高导热性和低应变的光学多层膜，它由混合薄膜和二氧化钛薄膜交替叠加组成，其中，混合薄膜为三氧化二铝和二氧化硅的混合物；三氧化二铝在混合薄膜中的重量百分含量为５０～７０％，优选重量百分含量为６０％；混合薄膜中三氧化二铝和二氧化硅的纯度为９９．９％以上。本发明专利技术光学多层膜以三氧化二铝和二氧化硅混合薄膜作为光学多层膜的低折射率材料，不仅可以显著降低光学多层膜使用时的温度，而且可以显著减小光学多层膜结累应力造成的应变，这种光学多层膜在高光能应用中具有重要的意义。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术 涉及一种用于超高亮度投影机的高导热性和低应变的光学多层膜。
技术介绍
一种超高亮度的数字投影机采用7kW的氙灯作为光源，亮度能达到25000流明以 上，目前最高亮度已达到31000流明，这是迄今全球最高亮度的数字投影机，主要用于大型 电影院、大型智能化指挥所、大型会场等各种场合，这种大型数字投影机目前最突出的技术 问题就是投影机中光学多层膜器件因吸收大量光能量而导致器件温度过高，进而器件表面 因光学多层膜的应力(主要为热应力和内应力)而导致应变，甚至导致器件破裂的问题，毫 无疑义，过热问题已成为制约极高亮度投影机像质和寿命的最大瓶颈，因为器件表面应变 将会产生像差而使投影图像质量显著降低，器件热致破裂将使投影机完全不能工作。在投影机诸多器件中，光学多层膜器件是过热、应变和破裂最为突出的器件之一， 尤其是靠近光源的光学多层膜器件是热量最高因而也是最容易损坏的器件，这是因为薄膜 经过大块材料蒸发变成薄膜后，吸收系数会增加5 6个数量级，对一些常用的薄膜材料， 典型的吸收(消光)系数会从大块材料的10, 10_"上升至薄膜的10_4 10_6，因此，在 高光能场合应用的光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高导热性和低应变的光学多层膜，其特征在于：它由混合薄膜和二氧化钛薄膜交替叠加组成，所述混合薄膜为三氧化二铝和二氧化硅的混合物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张梅骄，陶占辉，艾曼灵，顾培夫，
申请(专利权)人：杭州科汀光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]