ＭＥＭＳ光谱仪恒温控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种ＭＥＭＳ光谱仪恒温控制装置，包括ＭＥＭＳ光学器件、第一微处理器，ＭＥＭＳ光学器件对光信号进行处理并送至第一微处理器进行光谱测量。它还包括温度传感器、第二微处理器、电阻丝、ＡＤ转换器、ＤＡ转换器、加热电流控制电路，温度传感器测量机内温度，温度传感器与ＡＤ转换器输入端连接，ＡＤ转换器输出端与第二微处理器信号输入端连接，第二微处理器信号输出端与ＤＡ转换器输入端连接，ＤＡ转换器的输出端与加热电流控制电路输入端连接，加热电流控制电路的输出端与电阻丝连接。本实用新型专利技术运用电阻丝加热调节ＭＥＭＳ光谱仪机内温度，解决了光学器件运动振幅随环境温度变化的问题。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种温度控制装置，尤其涉及一种MEMS光谱仪恒温控制装置，属 于分析仪器

技术介绍
光谱学是测量紫外、可见、近红外和红外波段光强度的一种技术，被广泛应用于多 种领域，如颜色测量、化学成份的浓度检测或电磁辐射分析等。传统光谱测量仪由众多光 学、电学与机械等分立器件组成，需要极其复杂的光路系统与精密机械结构，降低了整个仪 器的可靠性，对仪器工作、存放环境也有着严格的要求，限制了对其更加广泛的应用。特别 是针对在线(现场)光谱测量的应用需求，传统光谱仪无力解决，开发微型化光谱仪已成为 当前一大研究热点。随着科技的进步，微电子机械系统(MEMS)技术和微细加工技术已取得了迅猛的 发展。众多基于MEMS技术的新型器件亦已崭露头角，其与传统器件相比具有许多优势，如 体积小、功耗低、灵敏度高、重复性好、易批量生产、成本低、加工工艺稳定等。采用MEMS技 术制作光谱仪已成为光谱仪开发的主流技术之一。MEMS光谱仪采用MEMS光学器件与新型光路结构，设计出具有良好适用性的微型 光谱仪，光路结构简单，可适合于各个光谱波段，具有明显的技术优势。该光谱仪由光纤连 接器、入射狭缝、反射微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ光谱仪恒温控制装置，包括ＭＥＭＳ光学器件（１）、第一微处理器（２），所述ＭＥＭＳ光学器件（１）对光路进行处理，做光电变换处理后得到的电信号送至第一微处理器（２），进行光谱测量，其特征在于，还包括温度传感器（３）、第二微处理器（４）、电阻丝（５）、ＡＤ转换器（６）、ＤＡ转换器（７）、加热电流控制电路（８），所述温度传感器（３）测量ＭＥＭＳ光学器件（１）所在机内温度，温度传感器（３）与ＡＤ转换器（６）输入端连接，ＡＤ转换器（６）输出端与第二微处理器（４）的信号输入端口连接，将温度信号送至第二微处理器（４），第二微处理器（４）的信号输出端口与ＤＡ转换器（７）输入端连接，ＤＡ转换器（７）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龙涛，唐明，严松，
申请(专利权)人：江苏惠通集团有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]