【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜线设备，特别是一种镀膜线旋转耙水头轴套。技术背景现有的镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量需 要通过水来冷却，而通过水冷却不仅需要一定量的水以及水的循环，还需要水 的密封性，现有的镀膜线旋转靶头，其水头轴套是由不锈钢材料制成的，并在 表面镀硬铬，能够防磨耐锈，但在工作时，由于和轴承以及密封圈之间的摩擦 会出现凹凸，使其使用寿命减少、冷却水泄漏，流入真空镀膜室，影响磁场， 另有采用原装进口的镀膜线，但这种成本较高，且因进口，不仅花费时间较长， 对生产造成很大的影响。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服以上的不足，提供一种能提高靶材利用率， 减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的镀膜线旋转靶水头轴套。本技术的目的通过以下技术方案来实现 一种镀膜线旋转靶水头轴套， 包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台的下表面设有固定孔，凸台的外圆周上设有圆弧凹槽壳体内部为空心结构，且壳体为2Crl3材料。本技术与现有技术相比具有的优点耙材形式采用旋转耙，提高了靶材的利用率，降低了成本，采用2Crl3材料不仅耐磨、防锈，硬度提高且使用寿命...
【技术保护点】
一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体（１），其特征在于：所述壳体（１）下端设有凸台（２），所述凸台（２）的下表面设有固定孔（３），所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽（４），所述壳体（１）内部为空心结构。
【技术特征摘要】
1、一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体(1)，其特征在于所述壳体(1)下端设有凸台(2)，所述凸台(2)的下表面设有固定孔(3)，所述凸台的...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄林冲，俞立民，王贤荣，陈咏宁，
申请(专利权)人：江苏蓝星玻璃有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[]
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