多晶硅结晶炉炉壁保护的石英内衬制造技术

本实用新型专利技术提供一种多晶硅结晶炉炉壁保护的石英内衬，石英内衬的形状呈规则的半球形不透明立体结构，上部敞开；石英内衬的壁厚在２ｍｍ～６０ｍｍ；另外，石英内衬的内壁上喷涂有氮化硅层。本实用新型专利技术根据多晶炉的技术要求提供与之配合的炉壁保护石英内衬，有效避免结晶炉结晶过程中出现的漏硅现象对结晶炉造成的伤害，非常实用。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
多晶硅结晶炉炉壁保护的石英内衬，其特征在于：所述石英内衬的形状呈规则的半球形不透明立体结构，上部敞开；石英内衬的壁厚在２ｍｍ～６０ｍｍ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨艳红，张伏严，
申请(专利权)人：常熟华融太阳能新型材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]