【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种检测系统及方法，尤其是一种适于大容量检测通道的校准检测系统及方法。
技术介绍
1、由于半导体芯片的大规模化，半导体测试设备提供检测通道(channel)的数量必然增加，以此满足对大规模半导体芯片的测试需求，具体地，对半导体芯片测试时，半导体测试设备的一个检测通道与半导体芯片的一个端脚适配连接，以利用检测通道对半导体芯片进行供电或进行测试，因此，数千个检测通道的连接性和质量十分重要，影响着对半导体芯片测试的可靠性，由此可知，如何对检测通道进行有效的校准检测，也成为对半导体测试设备进行质量检测的重要检测项目。
2、由上述说明可知，半导体测试设备提供的检测通道可为电源通道或信号通道，其中，当检测通道为电源通道时，可为待测半导体芯片进行供电，而当检测通道为信号通道时，则可对半导体芯片进行相应的测试，如可向半导体芯片的端脚加载测试信号，并收集测试反馈信号。
3、为了能实现对检测通道进行校准检测，现有的半导体测试设备内一般会提供校准(calibration)工具，如申请号为us11297726所公开的校准检...
【技术保护点】
1.一种适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是，所述校准检测系统包括：
2.根据权利要求1所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是：所述校准板上至少设置诊断连接电路，所述诊断连接电路包括若干诊断连接单元以及与每个诊断连接单元对应连接的诊断连接端子，其中，
3.根据权利要求2所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是：在半导体测试设备内，将反馈的校准驱动电压与通道期望电压比较，以确定校准检测状态内的通道连接状态，其中，当校准驱动电压与通道期望电压相一致时，则通道连接状态为信号通道连接良好，否则，通道连接状态为信号通道连接不良；<...
【技术特征摘要】
1.一种适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是，所述校准检测系统包括：
2.根据权利要求1所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是：所述校准板上至少设置诊断连接电路，所述诊断连接电路包括若干诊断连接单元以及与每个诊断连接单元对应连接的诊断连接端子，其中，
3.根据权利要求2所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是：在半导体测试设备内，将反馈的校准驱动电压与通道期望电压比较，以确定校准检测状态内的通道连接状态，其中，当校准驱动电压与通道期望电压相一致时，则通道连接状态为信号通道连接良好，否则，通道连接状态为信号通道连接不良；
4.根据权利要求2所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，其特征是：对任一诊断连接单元，所述诊断连接单元包括至少一个移位寄存器以及与所述移位寄存器输出端适配连接的诊断缓冲器，且诊断缓冲器的输出端与对应的诊断连接端子适配连接；
5.根据权利要求2所述的适于大容量检测通道的校准检测系统，...
【专利技术属性】
技术研发人员：金秉润，金秉奎，姜圣翊，陈铭邦，金林圭，郑彦洛，金钟石，
申请(专利权)人：江苏中创芯盛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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