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本发明涉及一种适于大容量检测通道的校准检测系统及方法。其包括：校准板至少与半导体测试设备内的一个检测通道组适配连接，校准检测时，将每个校准检测通道分别配置处于校准检测状态，且对任一处于校准检测状态的校准检测通道，将所述校准检测通道依次配置处...
该专利属于江苏中创芯盛科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中创芯盛科技有限公司授权不得商用。

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