四氯化钛在线取样装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种四氯化钛在线取样装置及方法，包括：在线介质流通管道、物料旁通管道、取样连接管道、润洗装置、取样装置、真空泵、氮气管道、若干控制阀门、第一切换阀门以及第二切换阀门。本发明专利技术通过结构优化与流程创新，有效解决现有技术中样品污染、操作繁琐、能耗较高等问题的同时，实现了电子级四氯化钛在线取样的高精度、高效率、高安全性，具有显著的实用价值和产业应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化学材料取样，具体涉及一种四氯化钛在线取样装置及方法。

技术介绍

1、四氯化钛（ticl4）因其多功能性能在各种工业应用中都非常重要。它是生产钛金属的关键前体之一（kroll工艺），钛金属是航空航天、医疗植入物和工业设备中的关键材料。ticl4通过还原钛，以生产高纯度钛金属。更重要的是，它在半导体行业合成薄膜和集成电路方面发挥着关键作用。

2、电子级四氯化钛（ticl4）作为关键半导体前驱体，是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料，具有高技术壁垒与高增长潜力。尤其是半导体工业发展至45nm节点以来，高介电常数（high-k）材料一直是业界的热门话题。这里，k指介电常数，意为衡量材料储存电荷的能力。一般来说，high-k材料是指介电常数高于二氧化硅（sio2）的一类材料，在目前的半导体制程中，通常用于替代晶体管的sio2栅介质层，除此之外，还可作为存储介质层应用于存储器中。

3、电子级四氯化钛（ticl4）作为关键金属前驱体材料之一，其满足介电常数大、热力学稳定性（无毒、不易爆炸和自燃，其升华温度和分解温度也较低）、栅极电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.四氯化钛在线取样装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的四氯化钛在线取样装置，其特征在于，还包括：设置于真空管道上的真空表，所述真空表用于监测真空度。

3.根据权利要求1所述的四氯化钛在线取样装置，其特征在于，所述第一切换阀门和第二切换阀门为三通阀。

4.四氯化钛在线取样方法，其特征在于，利用如权利要求1-3任一项所述的四氯化钛在线取样装置进行取样，包括：

5.根据权利要求4所述的四氯化钛在线取样方法，其特征在于，所述步骤S3进一步为：

6.根据权利要求4所述的四氯化钛在线取样方法，其特征在于，所述步骤S4进一步为...

【技术特征摘要】

1.四氯化钛在线取样装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的四氯化钛在线取样装置，其特征在于，还包括：设置于真空管道上的真空表，所述真空表用于监测真空度。

3.根据权利要求1所述的四氯化钛在线取样装置，其特征在于，所述第一切换阀门和第二切换阀门为三通阀。

4.四氯化钛在线取样方法，其特征在于，利用如权利要求1-3任一项所述的四氯化钛在线取样装置进行取样，包括：

5.根据权利要求4所述的四氯化钛在线取样方法，其特征在于，所述步骤s3进一步为：

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏华，王宏，王艺潼，朱佳政，陈罗浩，
申请(专利权)人：金宏气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：