用于微机电装置的完全对称结构制造方法及图纸

本公开涉及用于微机电装置的完全对称结构。本文公开了用于MEMS装置的完全对称的感测结构。在某些实施例中，MEMS传感器包括在第一方向上移动的检测质量。检测质量包括与检测质量一起移动的可移动指状物。MEMS传感器进一步包括相对于可移动指状物固定的固定指状物，并且固定指状物和可移动指状物用于检测检测质量的移动。例如，可移动指状物和固定指状物可以相互交叉以形成梳状指状物组，用于感测由检测质量相对于基板的移动引起的电容改变。固定指状物的布局在至少第一方向上是完全对称的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及电子学，并且更具体地涉及微机电系统(mems)。

技术介绍

1、诸如mems加速度计或mems陀螺仪的mems传感器包括响应于惯性力而移动的检测质量。额外地，mems传感器包括感测结构，诸如电容感测结构，其具有附接到检测质量的可移动指状物及锚固到基板的固定指状物。可移动指状物和固定指状物可以相互交叉以形成梳状指状物组，该梳状指状物组用于感测由检测质量(proof mass)相对于基板移动引起的电容改变。

2、在加速度计中，检测质量可以由弹簧系绳悬挂在基板上方并且提供对加速度力的阻力。额外地，感测结构测量检测质量的偏转，从而产生振幅与加速度成比例的传感器输出。在另一实例中，陀螺仪可以包括在第一方向(例如x方向)上移动的检测质量，同时感测结构检测(detect)到由检测质量的移动引起的在第二方向(例如，y方向)上的科里奥利(coriolis)效应。

技术实现思路

1、在一个方面中，公开了一种mems传感器。该mems传感器包括被配置为在第一方向上移动的检测质量，并且该检测质量包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机电系统(MEMS)传感器，所述MEMS传感器包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个导电锚来锚固。

3.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个介电锚来锚固。

4.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个介电锚和至少一个导电锚来锚固。

5.根据权利要求1所述的MEMS传感器，所述MEMS传感器进一步包括基板，其中所述多个固定指状物对称地锚固到所述基板。p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种微机电系统(mems)传感器，所述mems传感器包括：

2.根据权利要求1所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个导电锚来锚固。

3.根据权利要求1所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个介电锚来锚固。

4.根据权利要求1所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物使用至少一个介电锚和至少一个导电锚来锚固。

5.根据权利要求1所述的mems传感器，所述mems传感器进一步包括基板，其中所述多个固定指状物对称地锚固到所述基板。

6.根据权利要求5所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物包括锚固到所述基板的中心。

7.根据权利要求5所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物的第一端和第二端锚固到所述基板。

8.根据权利要求5所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物中的每个固定指状物在三个或更多个点处锚固到所述基板。

9.根据权利要求1所述的mems传感器，其中所述多个固定指状物的所述布局在所述第一方向和第二方向上是完全对称的。

10.根据权利要求9所述的mems传感器，其中所述多个可移动指状物的布局还在所述第一方向和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张江龙，G·沃赫拉，贾科淼，
申请(专利权)人：美国亚德诺半导体公司，
类型：发明
国别省市：