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本公开涉及用于微机电装置的完全对称结构。本文公开了用于MEMS装置的完全对称的感测结构。在某些实施例中，MEMS传感器包括在第一方向上移动的检测质量。检测质量包括与检测质量一起移动的可移动指状物。MEMS传感器进一步包括相对于可移动指状物固...
该专利属于美国亚德诺半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国亚德诺半导体公司授权不得商用。

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