【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扩晶的,具体为一种led灯珠芯片扩晶机。
技术介绍
1、扩晶机是半导体封装前道制程中的核心设备,主要用于将切割后的晶圆上紧密排列的芯片(晶粒)按预设间距均匀拉开,以满足后续巨量转移固晶或测试的工艺需求。
2、在扩晶产线机上,除了人工切除蓝膜外,还有自动切除装置,但是在现有技术中,还会为扩晶产线机配备工业相机,但是工业相机的安装和自动切除装置之间容易产生干涉,特别是针对小尺寸晶圆。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种led灯珠芯片扩晶机,能够实现内藏刀具,也能够由快转慢的控制刀具切割蓝膜,提高切割质量。
2、为了实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:
3、一种led灯珠芯片扩晶机,包括:
4、基板及其顶部的机壳和承载平台;位于承载平台外围所述基板的顶部安装有两个装配柱,其中一个所述装配柱上可控的安装有上模,所述上模的内部开设嵌槽和装配腔,所述嵌槽与装配腔互通,所述嵌槽的内部限位滑动安装有圆盘切刀,所述圆盘切刀内藏于嵌槽内,所
...【技术保护点】
1.一种LED灯珠芯片扩晶机,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的LED灯珠芯片扩晶机,其特征在于:所述驱动结构包括铰接在装配腔(21)内壁上的装配臂(18),铰接点将所述装配臂(18)分割为动力臂和阻力臂,所述动力臂长于阻力臂,所述动力臂与阻力臂上均开设有与其轴线平行的行程槽,所述行程槽的内部均滑动安装有铰接座(22),位于阻力臂一侧的所述铰接座(22)与圆盘切刀(19)的顶端固定连接,所述上模(8)的顶部安装有可保持匀速输出的精密直线驱动器(17),所述精密直线驱动器(17)的输出端与位于动力臂一侧的铰接座(22)固定连接,所述精密直线驱动器(
...【技术特征摘要】
1.一种led灯珠芯片扩晶机,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的led灯珠芯片扩晶机,其特征在于:所述驱动结构包括铰接在装配腔(21)内壁上的装配臂(18),铰接点将所述装配臂(18)分割为动力臂和阻力臂,所述动力臂长于阻力臂,所述动力臂与阻力臂上均开设有与其轴线平行的行程槽,所述行程槽的内部均滑动安装有铰接座(22),位于阻力臂一侧的所述铰接座(22)与圆盘切刀(19)的顶端固定连接,所述上模(8)的顶部安装有可保持匀速输出的精密直线驱动器(17),所述精密直线驱动器(17)的输出端与位于动力臂一侧的铰接座(22)固定连接,所述精密直线驱动器(17)输入输出时可使圆盘切刀(19)发生上下的位移,当所述圆盘切刀(19)穿出嵌槽(20)时,所述装配臂(18)为水平状态,当所述装配臂(18)由水平状向倾斜状运动时,所述圆盘切刀(19)由快转慢的向下输出。
3.根据权利要求2所述的led灯珠芯片扩晶机,其特征在于:所述基板(2)上安装有由顶针机构控制的下模(7),所述下模(7)的顶部为阶梯状设计,所述下模(7)的阶梯处套设有内扩晶环(15),所述上模(8)的底部过盈内嵌有外扩晶环(16),所述下模(7)与上模(8)同轴线运动,所述内扩晶环(15)与外扩晶环(16)可完成套接配合,所述下模(7)的阶梯高度与内扩晶环(15)的高度等同,所述下模(7)的阶梯步踏宽度大于内扩晶环(15)和外扩晶环(16)合环后的厚度。
4.根据权利要求3所述的led灯珠芯片扩晶机,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈玲,刘叶萍,刘军军,
申请(专利权)人:深圳芯叶晨科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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